[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及蒸镀掩模的制造装置有效

专利信息
申请号: 201780086024.5 申请日: 2017-11-22
公开(公告)号: CN110268090B 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 成谷元嗣 申请(专利权)人: 株式会社日本显示器
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈伟;王娟娟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 蒸镀掩模 制造 方法 装置
【说明书】:

实现掩模与框架之间的足够的接合强度。一种蒸镀掩模,其具备:掩模主体,其具有形成了图案开口的图案部和包围所述图案部的框部;以及掩模框架,其对所述框部进行支撑,所述框部具有与所述掩模框架交叉的端面,所述掩模主体在所述端面处被固定于所述掩模框架。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及蒸镀掩模的制造装置。

背景技术

在有机电致发光(EL)显示装置等显示装置的制造中通常采用如下方法:通过蒸镀法等借助掩模使成膜材料附着在基板上的规定位置,从而成膜。例如,红、绿、蓝的有机EL元件(像素)通过掩模蒸镀法形成于基板上。在此采用的掩模上形成有与要成膜的图案对应的开口,成膜时,存在将掩模固定于框架的情况(例如,参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2011-181208号公报

发明内容

但是,在采用上述这样的掩模的成膜过程中,例如有时掩模与框架之间的接合强度成为问题。

鉴于上述情况,本发明的目的之一在于实现掩模与框架之间的足够的接合强度。

根据本发明的一个方面,提供一种蒸镀掩模。在一个实施方式中,蒸镀掩模具备:掩模主体,其具有形成了图案开口的图案部和包围上述图案部的框部;以及掩模框架,其对上述框部进行支撑,上述框部具有与上述掩模框架交叉的端面,上述掩模主体在上述端面处被固定并焊接于上述掩模框架。

在一个实施方式中,上述掩模框架具有:掩模框架基材;以及接合部件,其被配置在上述掩模框架基材的配置有上述掩模主体的一侧,上述掩模主体被固定并焊接于上述接合部件。

在一个实施方式中,上述接合部件的厚度为0.2mm以下。

在一个实施方式中,上述掩模框架保持多个上述掩模主体。

在一个实施方式中,上述掩模主体是电铸掩模。

在一个实施方式中,在上述框部的外缘形成有厚度比上述框部的其他部位薄的薄壁部,上述薄壁部的包含端面的部分被固定并焊接于上述掩模框架。接合部件也可以比上述薄壁部薄。

在另一个实施方式中,蒸镀掩模具备:掩模主体,其具有形成了图案开口的图案部和包围上述图案部的框部;以及掩模框架,其对上述框部进行固定,上述掩模框架具有:掩模框架基材;以及接合部件,其被配置在上述掩模框架基材的配置有上述掩模主体的一侧,并且与上述掩模主体接触,上述接合部件的刚性低于上述框部的刚性,上述框部具有与上述接合部件交叉的侧面,上述侧面具有:第1区域;多个第2区域,其为点状,并且表面比上述第1区域的表面粗糙。

根据本发明的另一方面,提供一种蒸镀掩模的制造方法。该制造方法依次包括如下工序:将掩模主体配置到掩模框架上,其中,上述掩模主体具有形成了图案开口的图案部和包围上述图案部的框部,上述掩模框架对上述掩模主体的框部进行支撑;以及将上述掩模主体的框部的包含端面的部分焊接到上述掩模框架上。

在一个实施方式中,对上述掩模主体的框部的端面照射激光,将上述掩模主体焊接于上述掩模框架。

在一个实施方式中,上述掩模框架具有:掩模框架基材;以及接合部件,其被配置在上述掩模框架基材的配置有上述掩模主体的一侧,将上述掩模主体焊接于上述接合部件。

根据本发明的又一方面,提供一种蒸镀掩模的制造装置。该制造装置具备:掩模框架保持部,其在将掩模主体配置在掩模框架上的状态下,对上述掩模框架进行保持,其中,上述掩模主体具有形成了图案开口的图案部和包围上述图案部的框部,上述掩模框架对上述掩模主体的框部进行支撑;以及焊接单元,其将上述掩模主体焊接于上述掩模框架,上述焊接单元将上述掩模主体的框部的包含端面的部分焊接于上述掩模框架。

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