[发明专利]蒸镀掩模在审
| 申请号： | 201780085863.5 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110268089A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 小野敬亮;武田笃;山田哲行;成谷元嗣;为川贡;大河原健;平坂直人;渡边大树 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是在使用掩模进行的成膜中实现高精度的图案成膜。本发明提供一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：掩模主体，其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部；掩模框架，其用于支承上述掩模主体的框部；和配置在上述掩模主体与上述掩模框架之间的中间部件，其具有与上述掩模框架对应的形状，上述掩模主体和上述中间部件的第一面接合，上述掩模框架和上述中间部件的与上述第一面相反一侧的面接合。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模框架 掩模主体 中间部件 面接合 图案部 成膜 框部 图案 蒸镀掩模 掩模 蒸镀 支承 开口 包围 配置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：掩模主体，其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部；掩模框架，其用于支承所述掩模主体的框部；和配置在所述掩模主体与所述掩模框架之间的中间部件，其具有与所述掩模框架对应的形状，所述掩模主体和所述中间部件的第一面接合，所述掩模框架和所述中间部件的与所述第一面相反一侧的面接合。
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