[发明专利]蒸镀掩模

说明书

本发明的目的是在使用掩模进行的成膜中实现高精度的图案成膜。本发明提供一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：掩模主体，其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部；掩模框架，其用于支承上述掩模主体的框部；和配置在上述掩模主体与上述掩模框架之间的中间部件，其具有与上述掩模框架对应的形状，上述掩模主体和上述中间部件的第一面接合，上述掩模框架和上述中间部件的与上述第一面相反一侧的面接合。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模。

背景技术

在有机电致发光(EL)显示装置等显示装置的制造中，通常使用下述的方法：通过利用蒸镀法等使成膜材料经由掩模附着在基板上的规定的位置来进行成膜。例如，红色、绿色、蓝色的有机EL元件(像素)可通过掩模蒸镀法形成在基板上。在此使用的掩模上形成有与要成膜的图案相应的开口(例如参照专利文献1和专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-039628号公报

专利文献2：日本特开2004-183023号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，在使用掩模进行的成膜中，例如存在得到的图案模糊的问题。

鉴于上述问题，本发明的目的之一在于，提供能够实现高精度的图案成膜(图案形成)的蒸镀掩模。

用于解决技术问题的手段

本发明的蒸镀掩模包括：掩模主体，其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部；掩模框架，其用于支承上述掩模主体的框部；和配置在上述掩模主体与上述掩模框架之间的中间部件(也称为接合部件，在本说明书中称为中间部件)，其具有与上述掩模框架对应的形状，上述掩模主体和上述中间部件的第一面接合，上述掩模框架和上述中间部件的与上述第一面相反一侧的面接合。

在1个实施方式中，上述掩模框架能够保持多个上述掩模主体。

在1个实施方式中，上述掩模主体为电铸掩模。

在1个实施方式中，上述接合通过焊接完成。

在1个实施方式中，上述中间部件的厚度为0.05mm～0.2mm。

在1个实施方式中，上述中间部件的厚度与上述掩模框架的厚度之比为0.005～0.1。

在1个实施方式中，上述中间部件的厚度与上述框部的厚度之比为0.2～0.4。

在1个实施方式中，上述图案部与要制造的显示装置的面板部对应。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的蒸镀掩模的外观立体图。

图2是图1所示的蒸镀掩模的分解立体图。

图3是图1的A-A截面图。

图4是表示图1所示的蒸镀掩模的使用方法的一个例子的概略截面图。

图5是表示本发明的第二实施方式的蒸镀掩模的掩模框架的平面图。

图6是表示本发明的第三实施方式的蒸镀掩模的掩模框架的平面图。

具体实施方式