[发明专利]蒸镀掩模在审
| 申请号： | 201780085863.5 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110268089A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 小野敬亮;武田笃;山田哲行;成谷元嗣;为川贡;大河原健;平坂直人;渡边大树 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模框架 掩模主体 中间部件 面接合 图案部 成膜 框部 图案 蒸镀掩模 掩模 蒸镀 支承 开口 包围 配置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：
掩模主体，其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部；
掩模框架，其用于支承所述掩模主体的框部；和
配置在所述掩模主体与所述掩模框架之间的中间部件，其具有与所述掩模框架对应的形状，
所述掩模主体和所述中间部件的第一面接合，所述掩模框架和所述中间部件的与所述第一面相反一侧的面接合。
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述掩模框架能够保持多个所述掩模主体。
3.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述掩模主体为电铸掩模。
4.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述接合通过焊接完成。
5.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述中间部件的厚度为0.05mm～0.2mm。
6.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述中间部件的厚度与所述掩模框架的厚度之比为0.005～0.1。
7.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述中间部件的厚度与所述框部的厚度之比为0.2～0.4。
8.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于：
所述图案部与要制造的显示装置的面板部对应。
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