[发明专利]太阳能电池单元的制造方法以及太阳能电池单元在审

专利信息
申请号: 201780085042.1 申请日: 2017-05-08
公开(公告)号: CN110268532A 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 土井诚 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 程晨
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在太阳能电池单元的制造方法中,其特征在于,包括将包含作为电极材料的导电性材料的膏涂敷到太阳能电池单元用基板的电极形成面的涂敷工序,涂敷工序包括:基板载置工序,将太阳能电池单元用基板载置到能够控制位置的载置台(104);第1方向控制工序,控制载置台(104)的第1方向的位置;以及膏吐出工序,控制与第1方向正交的载置台(104)的第2方向的位置,并且使用具备吐出膏的吐出喷嘴(103)的液体涂敷装置,一边以来自吐出喷嘴(103)的每单位时间的吐出量控制涂敷量一边将膏涂敷到电极形成面。
搜索关键词: 太阳能电池单元 吐出 载置台 基板载置 喷嘴 膏涂敷 涂敷 液体涂敷装置 导电性材料 电极形成面 电极材料 电极形成 方向控制 方向正交 控制位置 涂敷量 吐出量 基板 制造
【主权项】:
1.一种太阳能电池单元的制造方法,具备:在半导体基板上形成pn结而形成太阳能电池单元用基板的工序;以及电极形成工序,包括将包含作为电极材料的导电性材料的膏涂敷到所述太阳能电池单元用基板的电极形成面的涂敷工序、和对所涂敷的所述膏进行烧成的烧成工序,所述太阳能电池单元的制造方法的特征在于,所述涂敷工序包括:基板载置工序,将所述太阳能电池单元用基板载置到能够控制位置的载置台;第1方向控制工序,控制所述载置台的第1方向的位置;以及膏吐出工序,控制与所述第1方向正交的所述载置台的第2方向的位置,并且使用具备吐出所述膏的吐出喷嘴的液体涂敷装置,一边以来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量控制涂敷量,一边将所述膏涂敷到所述电极形成面。
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