[发明专利]太阳能电池单元的制造方法以及太阳能电池单元

权利要求书

1.一种太阳能电池单元的制造方法，具备：

在半导体基板上形成pn结而形成太阳能电池单元用基板的工序；以及

电极形成工序，包括将包含作为电极材料的导电性材料的膏涂敷到所述太阳能电池单元用基板的电极形成面的涂敷工序、和对所涂敷的所述膏进行烧成的烧成工序，

所述太阳能电池单元的制造方法的特征在于，

所述涂敷工序包括：

基板载置工序，将所述太阳能电池单元用基板载置到能够控制位置的载置台；

第1方向控制工序，控制所述载置台的第1方向的位置；以及

膏吐出工序，控制与所述第1方向正交的所述载置台的第2方向的位置，并且使用具备吐出所述膏的吐出喷嘴的液体涂敷装置，一边以来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量控制涂敷量，一边将所述膏涂敷到所述电极形成面。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

在所述膏吐出工序中，

将所述第2方向的第1位置处的来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量设为第1吐出量，

将所述第2方向的第2位置处的来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量设为比所述第1吐出量多的第2吐出量。

3.根据权利要求1或者2所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

在所述膏吐出工序中，

将所述第2方向的第1位置处的所述载置台的移动速度设为第1载置台移动速度，

将所述第2方向的第2位置处的所述载置台的移动速度设为比所述第1载置台移动速度慢的第2载置台移动速度。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

在所述第1方向控制工序中，

控制所述吐出喷嘴的第1方向的位置。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，

在所述膏吐出工序之前，具备与所述第2方向平行地涂敷多个栅格电极用膏的工序。

6.一种太阳能电池单元，具备：

太阳能电池单元用基板，具有pn结；

第1电极，形成于所述太阳能电池单元用基板的第1主面；以及

第2电极，形成于所述太阳能电池单元用基板的第2主面，

所述太阳能电池单元的特征在于，

所述第1电极具备：

总线电极，在所述第1主面的第1方向上延伸地形成；以及

多个栅格电极，与和所述总线电极交叉的第2方向平行地形成，

所述总线电极具备：

低总线部，相对所述第1主面垂直的方向的高度低于所述栅格电极的高度；以及

高总线部，相对所述第1主面垂直的方向的高度高于所述低总线部的高度。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池单元，其特征在于，

所述高总线部的高度等于所述栅格电极的高度。

8.根据权利要求6或者7所述的太阳能电池单元，其特征在于，

所述低总线部的高度为所述高总线部的高度的1/2以下。