[发明专利]规定浓度水的供给方法及装置在审
| 申请号: | 201780082842.8 | 申请日: | 2017-09-15 |
| 公开(公告)号: | CN110167661A | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
| 发明(设计)人: | 饭野秀章 | 申请(专利权)人: | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号: | B01F3/08 | 分类号: | B01F3/08;B01F15/04;B01J4/02;H01L21/304 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 陈曦;向勇 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 一种规定浓度水的供给方法及装置,该规定浓度水的供给方法是在超纯水中添加导电性的第1液及非导电性的第2液至少2种液体来制造含有规定浓度的第1液成分及第2液成分的规定浓度水的工序,在所述规定浓度水的供给方法中,事先制备将所述第1液与第2液预先以规定混合比混合而成的混合液,将该混合液添加至超纯水,以使添加后的超纯水的导电率或电阻率成为规定值。 | ||
| 搜索关键词: | 超纯水 混合液 导电性 非导电性 导电率 电阻率 水中 制备 制造 | ||
【主权项】:
1.一种规定浓度水的供给方法,包括:在超纯水中添加导电性的第1液及非导电性的第2液至少2种液体来制造含有规定浓度的第1液成分及第2液成分的规定浓度水的工序,所述规定浓度水的供给方法的特征在于,事先制备将所述第1液与第2液预先以规定混合比混合而成的混合液,将所述混合液添加至超纯水,以使添加后的超纯水的导电率或电阻率成为规定值。
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