[发明专利]规定浓度水的供给方法及装置在审
| 申请号： | 201780082842.8 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN110167661A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 饭野秀章 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | B01F3/08 | 分类号： | B01F3/08;B01F15/04;B01J4/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超纯水 混合液 导电性 非导电性 导电率 电阻率 水中 制备 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种规定浓度水的供给方法，包括：在超纯水中添加导电性的第1液及非导电性的第2液至少2种液体来制造含有规定浓度的第1液成分及第2液成分的规定浓度水的工序，所述规定浓度水的供给方法的特征在于，
事先制备将所述第1液与第2液预先以规定混合比混合而成的混合液，
将所述混合液添加至超纯水，以使添加后的超纯水的导电率或电阻率成为规定值。
2.如权利要求1所述的规定浓度水的供给方法，其中，所述第1液为酸或碱的水溶液，第2液为H2、H2O2或O3的溶解水。
3.一种规定浓度水的供给装置，其具备以下而成：
导电性的第1液与非导电性的第2液至少2种液体以规定混合比混合而成的混合液的贮存槽；
用来将所述贮存槽内的混合液注药至超纯水的混合液送液机构；
对注药有混合液的超纯水的导电率或电阻率进行测定的导电率计或电阻率计；
对注药有混合液的超纯水的瞬间流量进行测定的瞬间流量计；以及
控制所述混合液送液机构以使所述导电率计或电阻率计的检测值成为规定的控制机构。
4.如权利要求3所述的规定浓度水的供给装置，其中，所述第1液为酸或碱的水溶液，第2液为H2、H2O2或O3的溶解水。
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