[发明专利]工件保持装置、检查装置及工件位置校正方法

摘要

使工件的对称轴与保持该工件并使其旋转的工件保持装置的旋转轴高精度地一致。包括：保持台，其具有：保持工件的卡盘机构、支承卡盘机构并使卡盘机构在与旋转轴正交的方向移动而对工件进行定位的定位机构、和通过使定位机构绕旋转轴旋转而使保持于卡盘机构的工件绕旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于卡盘机构的工件的外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由对准用拍摄部对在旋转机构的作用下旋转的工件进行拍摄所取得的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过定位机构使卡盘机构移动而以使对称轴与旋转轴一致的方式进行工件的位置校正，以消除偏心。

主权项

1.一种工件保持装置，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：保持台，其具有：保持所述工件的卡盘机构、支承所述卡盘机构并使所述卡盘机构在与所述旋转轴正交的方向移动而对所述工件进行定位的定位机构、和通过使所述定位机构绕所述旋转轴旋转而使保持于所述卡盘机构的所述工件绕所述旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于所述卡盘机构的所述工件的所述外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由所述对准用拍摄部对在所述旋转机构的作用下旋转的所述工件进行拍摄所取得的图像，检测所述对称轴相对于所述旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过所述定位机构使所述卡盘机构移动而以使所述对称轴与所述旋转轴一致的方式进行所述工件的位置校正，以消除所述偏心。