[发明专利]工件保持装置、检查装置及工件位置校正方法

说明书

使工件的对称轴与保持该工件并使其旋转的工件保持装置的旋转轴高精度地一致。包括：保持台，其具有：保持工件的卡盘机构、支承卡盘机构并使卡盘机构在与旋转轴正交的方向移动而对工件进行定位的定位机构、和通过使定位机构绕旋转轴旋转而使保持于卡盘机构的工件绕旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于卡盘机构的工件的外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由对准用拍摄部对在旋转机构的作用下旋转的工件进行拍摄所取得的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过定位机构使卡盘机构移动而以使对称轴与旋转轴一致的方式进行工件的位置校正，以消除偏心。

技术领域

本发明涉及保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使其绕旋转轴旋转的工件保持装置、对保持于该工件保持装置的工件进行检查的检查装置、以及该工件保持装置中的工件位置校正方法。

关联申请的相互参考

通过参考将以下所示的日本申请的说明书、附图及权利要求书的公开内容的全部内容引入本文件：

日本特愿2017-47285(2017年3月13日申请)。

背景技术

作为对绕对称轴旋转对称的工件的外观进行检查的装置，已知有例如专利文献1所记载的工件检查装置。在该工件检查装置中，利用与电动机连结的保持部保持工件。并且，在利用上述电动机使工件旋转的同时使用多台相机对该工件进行拍摄，并基于这些拍摄图像对工件的外观进行检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-63268号公报

发明内容

专利文献1所记载的装置是以齿轮作为工件的装置，检查齿轮是否存在伤痕和/或缺陷等。该装置中，保持部具有：从沿轴向贯通工件的贯通孔通过的轴部；和以与轴部同轴的方式夹持工件的夹持机构。并且，通过电动机的旋转轴旋转而使轴部和工件一体地旋转。此处，在工件的对称轴与电动机的旋转轴不一致、也就是发生了偏心的情况下，难以基于拍摄到的图像进行高精度的检查。因此，为了实现高精度的工件检查，能够校正工件相对于电动机的偏心并使工件在工件的对称轴与电动机的旋转轴一致的所谓定心状态下旋转的技术备受期待。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于在保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使其绕旋转轴旋转的工件保持装置中，使对称轴与旋转轴高精度地一致。

本发明的第1方式为一种工件保持装置，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：保持台，其具有：保持工件的卡盘机构、支承卡盘机构并使卡盘机构在与旋转轴正交的方向移动而对工件进行定位的定位机构、和通过使定位机构绕旋转轴旋转而使保持于卡盘机构的工件绕旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于卡盘机构的工件的外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由对准用拍摄部对在旋转机构的作用下旋转的工件进行拍摄所取得的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过定位机构使卡盘机构移动而以使对称轴与旋转轴一致的方式进行工件的位置校正，以消除偏心。

此外，本发明的第2方式为一种检查装置，其对具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件进行检查，其特征在于，包括：上述工件保持装置；检查用拍摄部，其对在通过工件保持装置使对称轴与旋转轴一致的状态下绕旋转轴旋转的工件进行拍摄；和工件检查部，其基于由检查用拍摄部拍摄到的图像对工件进行检查。

此外，本发明的第3方式为一种工件位置校正方法，其是工件保持装置中的工件位置校正方法，工件保持装置保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：利用工件保持装置的卡盘机构保持工件的第1工序；基于在使保持着工件的卡盘机构绕旋转轴旋转的同时对工件的外周部进行拍摄所得到的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心的第2工序；和使卡盘机构在相对于旋转轴正交的方向上移动而使对称轴与旋转轴一致，以消除偏心的第3工序。