[发明专利]工件保持装置、检查装置及工件位置校正方法

权利要求书

1.一种工件保持装置，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：

保持台，其具有：保持所述工件的卡盘机构、支承所述卡盘机构并使所述卡盘机构在与所述旋转轴正交的方向移动而对所述工件进行定位的定位机构、和通过使所述定位机构绕所述旋转轴旋转而使保持于所述卡盘机构的所述工件绕所述旋转轴旋转的旋转机构；

对准用拍摄部，其对保持于所述卡盘机构的所述工件的所述外周部进行拍摄；

偏心检测部，其基于由所述对准用拍摄部对在所述旋转机构的作用下旋转的所述工件进行拍摄所取得的图像，检测所述对称轴相对于所述旋转轴的偏心；和

工件位置校正部，其通过所述定位机构使所述卡盘机构移动而以使所述对称轴与所述旋转轴一致的方式进行所述工件的位置校正，以消除所述偏心。

2.如权利要求1所述的工件保持装置，其特征在于，

所述卡盘机构具有多个可动部件和使所述多个可动部件相对于中心轴接近或远离的移动部，通过所述移动部使所述多个可动部件分别同时向所述中心轴移动而保持所述工件。

3.如权利要求2所述的工件保持装置，其特征在于，

所述偏心检测部使得由所述多个可动部件保持的所述工件在所述旋转机构的作用下以定位成所述中心轴相对于所述旋转轴一致的状态旋转。

4.如权利要求1～3中任一项所述的工件保持装置，其特征在于，

还具备工作台移动机构，所述工作台移动机构使所述保持台在由所述对准用拍摄部进行所述工件的拍摄的预对准位置、和与所述预对准位置隔开间隔的非预对准位置之间移动，

在使所述保持台从所述预对准位置向所述非预对准位置移动的期间，并行地执行所述偏心的检测及所述工件的位置校正的至少一部分。

5.一种检查装置，其对具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件进行检查，其特征在于，包括：

权利要求1～4中任一项所述的工件保持装置；

检查用拍摄部，其对在通过所述工件保持装置使所述对称轴与所述旋转轴一致的状态下绕所述旋转轴旋转的所述工件进行拍摄；和

工件检查部，其基于由所述检查用拍摄部拍摄到的图像对所述工件进行检查。

6.一种工件位置校正方法，其是工件保持装置中的工件位置校正方法，所述工件保持装置保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：

利用所述工件保持装置的卡盘机构保持所述工件的第1工序；

基于在使保持着所述工件的所述卡盘机构绕所述旋转轴旋转的同时对所述工件的所述外周部进行拍摄所得到的图像，检测所述对称轴相对于所述旋转轴的偏心的第2工序；和

使所述卡盘机构在相对于所述旋转轴正交的方向上移动而使所述对称轴与所述旋转轴一致，以消除所述偏心的第3工序。