[发明专利]MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置以及它们的制造方法有效
| 申请号： | 201780078445.3 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN110114221B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 山田大介;高部本规;松本泰幸;长沼阳一;平井荣树 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;姜克伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。该MEMS装置(记录头3)的特征在于，具备：第一基板(压力室形成基板29)，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件(振动板31)；第二基板(密封板33)，其以相对于第一基板(压力室形成基板29)而隔开间隔的方式被配置；粘合层(43)，其将第一基板(压力室形成基板29)和第二基板(密封板33)粘合在一起，在第一基板(压力室形成基板29)的面内方向上，薄膜部件(振动板31)的端缘被延伸设置至与第一基板(压力室形成基板29)的端缘相比靠外侧处。 | ||
| 搜索关键词： | mems 装置 液体 喷射 以及 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统装置，其特征在于，具备：第一基板，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件；第二基板，其以相对于所述第一基板而隔开间隔的方式被配置；粘合层，其将所述第一基板和所述第二基板粘合在一起，在所述第一基板的面内方向上，所述薄膜部件的端缘被延伸设置至与所述第一基板的端缘相比靠外侧处。
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