[发明专利]MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置以及它们的制造方法

说明书

本发明提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。该MEMS装置(记录头3)的特征在于，具备：第一基板(压力室形成基板29)，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件(振动板31)；第二基板(密封板33)，其以相对于第一基板(压力室形成基板29)而隔开间隔的方式被配置；粘合层(43)，其将第一基板(压力室形成基板29)和第二基板(密封板33)粘合在一起，在第一基板(压力室形成基板29)的面内方向上，薄膜部件(振动板31)的端缘被延伸设置至与第一基板(压力室形成基板29)的端缘相比靠外侧处。

技术领域

本发明涉及一种具有经由粘合层而被接合在一起的两个基板的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。

背景技术

作为被应用在液体喷射头等中的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)装置，存在有一种两个基板以隔开间隔的状态通过粘合剂而被接合在一起的装置。例如，在专利文献1中，公开了一种流道形成基板和保护基板通过粘合剂而被接合在一起的液体喷射头。在流道形成基板的保护基板侧的面上，层叠有能够进行可挠变形的振动板以及使压力室产生压力变动的压电元件。而且，压电元件被配置在形成于流道形成基板与保护基板之间的空间内。此外，作为这种液体喷射头的制造方法，已知有如下的方法，即，在将成为流道形成基板的一方的基板和成为保护基板的另一方的基板接合之后，通过蚀刻而去除一方的基板上的成为切断线的区域，之后，通过沿着切断线而进行切断，从而分割成各个流道形成基板以及保护基板的方法(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-223997号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1中，由于在切断线上配置有将两个基板接合在一起的粘合剂，因此存在如下的可能性，即，因制造偏差等而无法利用切断线来进行切断，或者在切断面上产生毛刺。此外，在为了可靠地切断而加强了进行切断的力(例如，扩展断裂中的拉伸力)的情况下，粘合剂等的一部分容易碎裂，从而有可能产生异物。而且，在专利文献1等所公开的现有的液体喷射头中，粘合剂的端缘与流道形成基板的端缘或者保护基板的端缘被对齐，从而使得在不增大流道形成基板以及保护基板的条件下扩大粘合面积较为困难。即，提高基板间的粘合强度较为困难。由于这些主要因素，从而使得提高液体喷射头的可靠性较为困难。

本发明是鉴于这种实际情况而完成的发明，其目的在于，提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。

用于解决课题的方法

本发明的MEMS装置是为了实现上述目的而提出的装置，其特征在于，具备：

第一基板，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件；

第二基板，其以相对于所述第一基板而隔开间隔的方式被配置；

粘合层，其将所述第一基板和所述第二基板粘合在一起，

在所述第一基板的面内方向上，所述薄膜部件的端缘被延伸设置至与所述第一基板的端缘相比靠外侧处。

根据本发明，由于粘合层以及第一基板远离MEMS装置的端缘，因此在切断第一基板以及第二基板来制造MEMS装置时，能够抑制在粘合层以及第一基板的端面上产生毛刺、或者它们板的一部分缺损而产生异物的情况。其结果为，能够提高MEMS装置的可靠性。

在上述结构中，优选为，在所述薄膜部件中的至少与所述第一基板的端缘相比靠外侧的部分处，层叠有保护层。