[发明专利]电阻测量装置及电阻测量方法

摘要

本发明提供一种可分别测量被测量基板的各连接部的电阻的电阻测量装置及电阻测量方法。本发明的电阻测量装置具备：电流供给部，用以将供给电流供给至供给侧导电部；电流引入部，用以将引入电流自引入侧导电部引入；供给侧电压检测部，检测电压测量用导电部与供给侧导电部之间的电压、即供给侧电压，所述电压测量用导电部是与供给侧导电部及引入侧导电部不同的导电部；引入侧电压检测部，检测电压测量用导电部与引入侧导电部之间的电压、即引入侧电压；以及电阻计算部，基于供给电流与供给侧电压而计算与供给侧导电部配对的连接部的电阻值，且基于引入电流与引入侧电压而计算与引入侧导电部配对的连接部的电阻值。

主权项

1.一种电阻测量装置，用以测量被测量基板的连接部的电阻，所述被测量基板具有：以面状扩展的导电性的面状导体；与所述面状导体相向的基板面；以及导电部与所述连接部的配对，所述导电部设置于所述基板面上，所述连接部将其导电部与所述面状导体电性连接，并且所述被测量基板具备三个以上该配对，且所述电阻测量装置包括：电流供给部，用以将预先设定的供给电流供给至作为所述三个以上导电部中的一者的供给侧导电部；电流引入部，用以将预先设定的引入电流自作为所述各导电部中的一者而与所述供给侧导电部不同的引入侧导电部引入；供给侧电压检测部，检测作为电压测量用导电部与所述供给侧导电部之间的电压的供给侧电压，所述电压测量用导电部是与所述各导电部中的所述供给侧导电部及所述引入侧导电部不同的导电部；引入侧电压检测部，检测作为所述电压测量用导电部与所述引入侧导电部之间的电压的引入侧电压；以及电阻计算部，基于所述供给电流与所述供给侧电压而计算与所述供给侧导电部配对的连接部的电阻值，并基于所述引入电流与所述引入侧电压而计算与所述引入侧导电部配对的连接部的电阻值。