[发明专利]电阻测量装置及电阻测量方法

权利要求书

1.一种电阻测量装置，用以测量被测量基板的连接部的电阻，所述被测量基板具有：以面状扩展的导电性的面状导体；与所述面状导体相向的基板面；以及导电部与所述连接部的配对，所述导电部设置于所述基板面上，所述连接部将所述导电部与所述面状导体电性连接，并且所述被测量基板具备三个以上所述配对，且所述电阻测量装置包括：

电流供给部，用以将预先设定的供给电流供给至作为所述三个以上导电部中的一者的供给侧导电部；

电流引入部，用以将预先设定的引入电流自作为所述各导电部中的一者而与所述供给侧导电部不同的引入侧导电部引入；

供给侧电压检测部，检测作为电压测量用导电部与所述供给侧导电部之间的电压的供给侧电压，所述电压测量用导电部是与所述各导电部中的所述供给侧导电部及所述引入侧导电部不同的导电部；

引入侧电压检测部，检测作为所述电压测量用导电部与所述引入侧导电部之间的电压的引入侧电压；以及

电阻计算部，基于所述供给电流与所述供给侧电压而计算与所述供给侧导电部配对的连接部的电阻值，并基于所述引入电流与所述引入侧电压而计算与所述引入侧导电部配对的连接部的电阻值，所述电流供给部包括第一端子及第二端子，所述第一端子连接于电路接地，所述第二端子连接于所述供给侧导电部，所述电流供给部自所述第一端子向所述第二端子供给所述供给电流，

所述电流引入部包括第三端子及第四端子，所述第三端子连接于所述引入侧导电部，所述第四端子连接于所述电路接地，所述电流引入部自所述第三端子向所述第四端子引入所述引入电流，

所述电阻测量装置更包括多组包含所述电流供给部、所述电流引入部、所述供给侧电压检测部及所述引入侧电压检测部的组，

分别对应于所述各组而设定所述供给侧导电部、所述引入侧导电部及所述电压测量用导电部，

所述电阻计算部基于对应于所述各组而检测出的所述供给电流及所述供给侧电压而计算与对应于所述各组的所述供给侧导电部配对的连接部的电阻值，并基于对应于所述各组而检测出的所述引入电流及所述引入侧电压而计算与对应于所述各组的所述引入侧导电部配对的连接部的电阻值。

2.根据权利要求1所述的电阻测量装置，其中对应于所述各组的所述供给电流的合计与对应于所述各组的引入电流的合计实质上相等。

3.根据权利要求1或2所述的电阻测量装置，其中所述供给电流与所述引入电流彼此实质上相等。

4.根据权利要求1或2所述的电阻测量装置，包括探针，所述探针用于为了进行利用所述电流供给部而进行的电流供给、利用所述电流引入部而进行的电流引入、利用所述供给侧电压检测部而进行的电压检测、以及利用所述引入侧电压检测部而进行的电压检测而与所述各导电部接触，

所述供给电流及所述引入电流被设定为用以去除所述各导电部的表面生成的氧化膜的氧化膜去除电流值以上且所述探针的额定电流值以下。

5.根据权利要求1或2所述的电阻测量装置，还包括将接地用导电部连接于所述电路接地的接地部，所述各导电部中，所述接地用导电部与所述供给侧导电部、所述引入侧导电部及所述电压测量用导电部不同。

6.根据权利要求3所述的电阻测量装置，包括探针，所述探针用于为了进行利用所述电流供给部而进行的电流供给、利用所述电流引入部而进行的电流引入、利用所述供给侧电压检测部而进行的电压检测、以及利用所述引入侧电压检测部而进行的电压检测而与所述各导电部接触，

所述供给电流及所述引入电流被设定为用以去除所述各导电部的表面生成的氧化膜的氧化膜去除电流值以上且所述探针的额定电流值以下。

7.根据权利要求3所述的电阻测量装置，还包括将接地用导电部连接于电路而接地的接地部，所述各导电部中，所述接地用导电部与所述供给侧导电部、所述引入侧导电部及所述电压测量用导电部不同。

8.根据权利要求4所述的电阻测量装置，还包括将接地用导电部连接于电路而接地的接地部，所述各导电部中，所述接地用导电部与所述供给侧导电部、所述引入侧导电部及所述电压测量用导电部不同。

9.一种电阻测量方法，使用权利要求1所述的电阻测量装置并用以测量所述连接部的电阻，所述电阻测量方法包括：

分别对应于所述各组而设定所述供给侧导电部、所述引入侧导电部及所述电压测量用导电部，

基于对应于所述各组的所述供给电流及所述供给侧电压而计算与对应于所述各组的所述供给侧导电部配对的连接部的电阻值，并基于对应于所述各组的所述引入电流及所述引入侧电压而计算与对应于所述各组的所述引入侧导电部配对的连接部的电阻值。