[发明专利]弹性波装置

摘要

本发明提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及第一电介质膜(4)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖IDT电极(3)，且由氧化硅构成。IDT电极(3)具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)为欧拉角(0°±5°，‑90°≤θ≤‑70°，0°±5°)，将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，将通过波长λ进行了归一化的第一金属膜的膜厚设为hm/λ(％)，此时，第一金属膜的金属以及膜厚hm/λ(％)为表1所示的任一组合。【表1】

主权项

1.一种弹性波装置，具备：压电基板，由LiNbO₃构成；IDT电极，设置在所述压电基板上；以及第一电介质膜，设置在所述压电基板上，使得覆盖所述IDT电极，且由氧化硅构成，所述IDT电极具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，所述压电基板的欧拉角为欧拉角(0°±5°，‑90°≤θ≤‑70°，0°±5°)，将由所述IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ，将通过所述波长λ进行了归一化的所述第一金属膜的膜厚设为hm/λ，其中，所述膜厚hm/λ的单位为％，此时，所述第一金属膜的金属以及所述膜厚hm/λ为下述的表1所示的任一组合，[表1]第一金属膜的金属第一金属膜的膜厚hm/λ(％)Pt6.5≤hm/λ≤25Cu13≤hm/λ≤25Mo15.5≤hm/λ≤25Au6.5≤hm/λ≤25W7.5≤hm/λ≤25Ta7≤hm/λ≤25                                                                        。