[发明专利]弹性波装置

说明书

本发明提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbOsubgt;3/subgt;构成；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及第一电介质膜(4)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖IDT电极(3)，且由氧化硅构成。IDT电极(3)具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)为欧拉角(0°±5°，‑90°≤θ≤‑70°，0°±5°)，将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，将通过波长λ进行了归一化的第一金属膜的膜厚设为hm/λ(％)，此时，第一金属膜的金属以及膜厚hm/λ(％)为表1所示的任一组合。【表1】

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置广泛地用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。该弹性波装置具有由LiNbO₃构成的压电基板。在压电基板上设置有以密度比Al高的金属为主体的IDT电极。在压电基板上设置有电介质层，使得覆盖在IDT电极上。在专利文献1中，通过将IDT电极的上述金属的膜厚以及压电基板的欧拉角设为给定的范围内，从而可谋求增大所利用的弹性波的机电耦合系数并减小无用波的机电耦合系数。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-295976号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，要求弹性波装置的更进一步的小型化。然而，在专利文献1记载的弹性波装置中，若要推进小型化，则需要将电极膜厚增厚，但是另一方面，若将膜厚增厚，则无用波的相对带宽变大，通过特性变差。因此，难以在抑制无用波而维持通过特性的同时达成小型化。

本发明的目的在于，提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

在本发明涉及的弹性波装置的某个广泛的方面中，具备：压电基板，由LiNbO₃构成；IDT电极，设置在所述压电基板上；以及第一电介质膜，设置在所述压电基板上，使得覆盖所述IDT电极，且由氧化硅构成，所述IDT电极具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜，所述压电基板的欧拉角为欧拉角(0°±5°，-90°≤θ≤-70°，0°±5°)，将由所述IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ，将通过所述波长λ进行了归一化的所述第一金属膜的膜厚设为hm/λ(％)，此时，所述第一金属膜的金属以及所述膜厚hm/λ(％)为下述的表1所示的任一组合。

[表1]