[发明专利]弹性波装置有效

申请号：	201780071170.0	申请日：	2017-10-10
公开（公告）号：	CN110036564B	公开（公告）日：	2023-04-18
发明（设计）人：	大门克也;玉崎大辅	申请（专利权）人：	株式会社村田制作所
主分类号：	H03H9/25	分类号：	H03H9/25;H03H9/145
代理公司：	中科专利商标代理有限责任公司 11021	代理人：	朴云龙
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	弹性装置
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【权利要求书】：

1.一种弹性波装置，具备：

压电基板，由LiNbO₃构成；

IDT电极，设置在所述压电基板上；以及

第一电介质膜，设置在所述压电基板上，使得覆盖所述IDT电极，且由氧化硅构成，

所述IDT电极具有由Pt、Cu以及Mo中的一种金属构成的第一金属膜，

所述压电基板的欧拉角为欧拉角(0°±5°，-90°≤θ≤-27.5°，0°±5°)，

将由所述IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ，将通过所述波长λ进行了归一化的所述第一金属膜的膜厚设为hm/λ，将通过所述波长λ进行了归一化的所述第一电介质膜的膜厚设为hs/λ，其中，所述膜厚hm/λ以及所述膜厚hs/λ的单位为％，此时，所述第一金属膜的金属、所述膜厚hm/λ、所述膜厚hs/λ以及所述压电基板的欧拉角中的θ为下述的表2～表9所示的任一组合，

[表2]

[表3]

[表4]

[表5]

[表6]

[表7]

[表8]

[表9]

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述第一电介质膜上设置有第二电介质膜。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

利用了SH波。