[发明专利]激光加工装置、叠层体加工装置及激光加工方法

摘要

本发明提供一种激光加工装置(10a至10d)及叠层体加工装置(10e)。该激光加工装置(10a至10d)包括用来构成线状光束的激光振荡器(20)及光学系统单元(21)以及x‑y‑θ或x‑θ载物台(12至15)。通过使用x‑y‑θ或x‑θ载物台(12至15)，可以使被加工物(30)在水平方向上移动及旋转。通过该工作，可以对该被加工物(30)的所希望的加工区域(31)有效地照射激光，由此可以减小设置x‑y‑θ或x‑θ载物台(12至15)的处理室(11)的占有面积。

主权项

1.一种激光加工装置，包括：第一移动机构；第二移动机构；旋转机构；被加工物的固定机构；以及激光照射机构，其中，所述第一移动机构包括能够在水平方向上进行往复直线运动的第一可动部，所述第二移动机构包括能够在水平方向上进行往复直线运动的第二可动部，所述旋转机构包括在垂直方向上具有旋转的中心轴的第三可动部，所述固定机构包括具有固定所述被加工物的平面的载物台，所述载物台包括其顶面为矩形且彼此正交的第一边及第二边，所述激光照射机构具有对所述载物台上照射线状光束的功能，所述第一可动部固定有所述第二移动机构，所述第二可动部固定有所述旋转机构，所述第三可动部固定有所述固定机构，所述第一可动部的运动方向与所述第二可动部的运动方向正交，所述第三可动部的所述中心轴与所述载物台的所述平面的中心具有彼此重叠的区域，所述线状光束长度是所述第二边的长度的1/X左右(X是1以上的整数)，所述第一可动部的移动范围是所述第一边的长度的1/2左右，并且，所述第二可动部的移动范围是比所述第二边的长度短1/X左右的长度。