[发明专利]激光加工装置、叠层体加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，包括：

第一移动机构；

第二移动机构；

旋转机构；

被加工物的固定机构；以及

激光照射机构，

其中，所述第一移动机构包括能够在水平方向上进行往复直线运动的第一可动部，

所述第二移动机构包括能够在水平方向上进行往复直线运动的第二可动部，

所述旋转机构包括在垂直方向上具有旋转的中心轴的第三可动部，

所述固定机构包括具有固定所述被加工物的平面的载物台，

所述载物台包括其顶面为矩形且彼此正交的第一边及第二边，

所述激光照射机构具有对所述载物台上照射线状光束的功能，

所述第一可动部固定有所述第二移动机构，

所述第二可动部固定有所述旋转机构，

所述第三可动部固定有所述固定机构，

所述第一可动部的运动方向与所述第二可动部的运动方向正交，

所述第三可动部的所述中心轴与所述载物台的所述平面的中心具有彼此重叠的区域，

所述线状光束长度是所述第二边的长度的1/X左右(X是1以上的整数)，

所述第一可动部的移动范围是所述第一边的长度的1/2左右，

并且，所述第二可动部的移动范围是比所述第二边的长度短1/X左右的长度。

2.一种激光加工装置，包括：

第一移动机构；

第二移动机构；

旋转机构；

被加工物的固定机构；以及

激光照射机构；

其中，所述第一移动机构包括能够在水平方向上进行往复直线运动的第一可动部，

所述第二移动机构包括能够在水平方向上进行往复直线运动的第二可动部，

所述旋转机构包括在垂直方向上具有旋转的中心轴的第三可动部，

所述固定机构包括具有固定所述被加工物的平面的载物台，

所述载物台包括其顶面为矩形且彼此正交的第一边及第二边，

所述激光照射机构具有对所述载物台上照射线状光束的功能，

所述第一可动部固定有所述第二移动机构，

所述第二可动部固定有所述旋转机构，

所述第三可动部的中心固定有所述固定机构，

所述第一可动部的运动方向与所述第二可动部的运动方向正交，

所述第三可动部的所述中心轴与所述载物台的所述平面的中心具有彼此重叠的区域，

所述线状光束长度是所述第一边的长度的1/2X左右(X是2以上的整数)或者所述第二边的长度的1/2X左右，

所述第一可动部的移动范围是所述载物台的第一边的长度的1/2左右，

并且，所述第二可动部的移动范围是比所述第一边的长度短(X+1)/2X左右的长度。

3.一种激光加工装置，包括：

移动机构；

旋转机构；

被加工物的固定机构；以及

激光照射机构，

其中，所述移动机构包括能够在水平方向上进行往复直线运动的第一可动部，

所述旋转机构包括在垂直方向上具有旋转的中心轴的第二可动部，

所述固定机构包括具有固定所述被加工物的平面的载物台，

所述载物台包括其顶面为矩形且彼此正交的第一边及第二边，

所述激光照射机构具有对所述载物台上照射线状光束的功能，

所述第一可动部固定有所述旋转机构，

所述第二可动部固定有所述固定机构，

所述第二可动部的所述中心轴与所述载物台的所述平面的中心具有彼此重叠的区域，

所述线状光束长度是所述第一边的长度的1/2左右或者所述第二边的长度的1/2左右，

所述第一可动部的移动范围是所述第一边的长度的1/2左右。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光加工装置，

其中所述激光照射机构包括激光振荡器，所述激光振荡器发射紫外光。