[发明专利]超声波检查装置在审
| 申请号： | 201780066138.3 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN109863394A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 松本彻 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N29/265 | 分类号： | G01N29/265;G01N29/28;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 超声波检查装置(1)是以被封装化的半导体设备(D)为检查对象的装置，具备：超声波振动器(2)，其与半导体设备(D)相对配置；介质保持部(12)，其设置于超声波振动器(2)中与半导体设备(D)相对的端部(2b)，并保持传播超声波(W)的介质(M)；平台(3)，其使半导体设备(D)与超声波振动器(2)的相对位置移动；及解析部(22)，其解析与利用超声波振动器(2)的超声波(W)的输入对应的半导体设备(D)的反应。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 超声波振动器 超声波检查装置 超声波 解析 相对位置移动 介质保持部 检查对象 相对配置 封装 传播 | ||
【主权项】：
1.一种超声波检查装置，其中，是以被封装化的半导体设备为检查对象的超声波检查装置，具备：超声波振动器，其与所述半导体设备相对地配置；介质保持部，其设置于所述超声波振动器中与所述半导体设备相对的端部，并保持传播所述超声波的介质；平台，其使所述半导体设备与所述超声波振动器的相对位置移动；及解析部，其解析与利用所述超声波振动器的超声波的输入对应的所述半导体设备的反应。
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