[发明专利]超声波检查装置

权利要求书

1.一种超声波检查装置，其中，

是以被封装化的半导体设备为检查对象的超声波检查装置，

具备：

超声波振动器，其与所述半导体设备相对地配置；

介质保持部，其设置于所述超声波振动器中与所述半导体设备相对的端部，并保持传播所述超声波的介质；

平台，其使所述半导体设备与所述超声波振动器的相对位置移动；及

解析部，其解析与利用所述超声波振动器的超声波的输入对应的所述半导体设备的反应。

2.如权利要求1所述的超声波检查装置，其中，

所述介质保持部由设置于所述超声波振动器的所述端部的筒状构件构成。

3.如权利要求1或2所述的超声波检查装置，其中，

所述介质保持部滑动自如地嵌合于所述超声波振动器的所述端部。

4.如权利要求1～3中任一项所述的超声波检查装置，其中，

所述介质保持部包含调整所述介质的保持量的介质流通口。

5.如权利要求1～4中任一项所述的超声波检查装置，其中，

所述介质保持部包含检测所述介质的保持量的保持量检测部。

6.如权利要求1～5中任一项所述的超声波检查装置，其中，

还具备：

电源装置，其对所述半导体设备施加恒定电压或恒定电流；及

反应检测部，其在所述恒定电压或所述恒定电流的施加状态下，检测与所述超声波的输入对应的所述半导体设备的电流或电压，

所述解析部基于来自所述反应检测部的检测信号而生成解析图像。

7.如权利要求6所述的超声波检查装置，其中，

还包含：信号产生部，其对所述超声波振动器输入驱动信号，且输出与所述驱动信号对应的参考信号，

所述解析部基于所述检测信号与所述参考信号而生成所述解析图像。

8.如权利要求6或7所述的超声波检查装置，其中，

还包含：反射检测部，其检测由所述半导体设备反射的所述超声波的反射波，

所述解析部基于来自所述反射检测部的检测信号而生成反射图像。

9.如权利要求8所述的超声波检查装置，其中，

所述解析部生成将所述解析图像与所述反射图像重叠后的重叠图像。