[发明专利]激光照射装置有效
| 申请号： | 201780064496.0 | 申请日： | 2017-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN109890554B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 奥间惇治 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;B23K26/064;B23K26/067;C03B33/09;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种激光照射装置，具备：将自激光光源所输出的激光对应于相位图案进行调制并出射的空间光调制器；将自上述空间光调制器所出射的上述激光朝对象物聚光的物镜；配置于上述激光的光路上的上述空间光调制器与上述物镜之间，将上述激光聚焦的聚焦透镜；配置于上述激光的光路上的上述聚焦透镜的后侧的焦点位置，将上述激光的一部分遮断的狭缝构件，上述相位图案包含将入射于上述物镜的瞳面的上述激光的一部分调制的第1图案、和将上述激光的余部进行调制的第2图案，上述第2图案包含用于将上述激光的上述余部分支成多个衍射光的衍射光栅图案，上述狭缝构件通过狭缝将上述衍射光予以遮断。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光照射装置，其特征在于，是将激光沿着第1方向照射于对象物的激光照射装置，包含：激光光源，输出所述激光；空间光调制器，将自所述激光光源输出的所述激光对应于相位图案进行调制并出射；物镜，将自所述空间光调制器出射的所述激光朝所述对象物聚光；聚焦透镜，配置于所述激光的光路上的所述空间光调制器与所述物镜之间，将所述激光聚焦；及狭缝构件，配置于所述激光的光路上的所述聚焦透镜的后侧的焦点位置，遮断所述激光的一部分，所述相位图案包含：将入射于所述物镜的瞳面的所述激光的一部分进行调制的第1图案；和将所述激光的余部进行调制的第2图案，所述第2图案包含衍射光栅图案，该衍射光栅图案用于沿着与所述第1方向交叉的第2方向使所述激光的所述余部分支成多个衍射光，所述狭缝构件通过狭缝将所述衍射光予以遮断。
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