[发明专利]激光照射装置

权利要求书

1.一种激光照射装置，其特征在于，

是将激光沿着第1方向照射于对象物的激光照射装置，

包含：

激光光源，输出所述激光；

空间光调制器，将自所述激光光源输出的所述激光对应于相位图案进行调制并出射；

物镜，将自所述空间光调制器出射的所述激光朝所述对象物聚光；

聚焦透镜，配置于所述激光的光路上的所述空间光调制器与所述物镜之间，将所述激光聚焦；及

狭缝构件，配置于所述激光的光路上的所述聚焦透镜的后侧的焦点位置，遮断所述激光的一部分，

所述相位图案包含：将入射于所述物镜的瞳面的所述激光的一部分进行调制的第1图案；和将所述激光的余部进行调制的第2图案，

所述第2图案包含衍射光栅图案，该衍射光栅图案用于沿着与所述第1方向交叉的第2方向使所述激光的所述余部分支成多个衍射光，

所述狭缝构件通过狭缝将所述衍射光予以遮断。

2.如权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述狭缝构件通过以相较于所述第2方向，在所述第1方向相对变长的方式形成的所述狭缝，遮断所述衍射光。

3.如权利要求1或2所述的激光照射装置，其特征在于，

所述第1图案包含用于沿着所述第1方向使所述激光的所述一部分分支成多个其他衍射光的其他衍射光栅图案。

4.如权利要求3所述的激光照射装置，其特征在于，

关于所述第1方向的所述狭缝的尺寸较所述焦点位置上的所述其他衍射光的光束尺寸与所述焦点位置上的所述其他衍射光的分支间隔的合计值大，

关于所述第2方向的所述狭缝的尺寸较所述焦点位置上的所述衍射光的光束尺寸大。

5.如权利要求4所述的激光照射装置，其特征在于，

所述分支间隔为所述第1方向上的±1次的所述其他衍射光的间隔。

6.如权利要求4或5所述的激光照射装置，其特征在于，

关于所述第2方向的所述狭缝的尺寸较当将所述聚焦透镜的焦点距离设为f、将所述激光的波长设为λ、将所述空间光调制器的像素尺寸设为x_SLM时，以下述式(1)所表示的最大衍射距离F小，

7.如权利要求4或5所述的激光照射装置，其特征在于，

所述狭缝的关于所述第1方向的尺寸较所述焦点位置上的±3次的所述其他衍射光的间隔小。

8.如权利要求6所述的激光照射装置，其特征在于，

所述狭缝的关于所述第1方向的尺寸较所述焦点位置上的±3次的所述其他衍射光的间隔小。

9.如权利要求3所述的激光照射装置，其特征在于，

所述其他衍射光栅图案由沿着所述第2方向的多个槽图案所构成，

所述衍射光栅图案由沿着所述第1方向的多个槽图案所构成。

10.如权利要求4或5所述的激光照射装置，其特征在于，

所述其他衍射光栅图案由沿着所述第2方向的多个槽图案所构成，

所述衍射光栅图案由沿着所述第1方向的多个槽图案所构成。

11.如权利要求6所述的激光照射装置，其特征在于，

所述其他衍射光栅图案由沿着所述第2方向的多个槽图案所构成，

所述衍射光栅图案由沿着所述第1方向的多个槽图案所构成。

12.如权利要求1或2所述的激光照射装置，其特征在于，

所述空间光调制器包含显示所述相位图案的液晶层，

所述液晶层包含所述激光入射的区域中的圆形状的有效区域和所述有效区域的外侧的圆环形状的非有效区域，

所述第1图案将显示于所述有效区域的所述激光的所述一部分进行调制，

所述第2图案将显示于所述非有效区域的所述激光的所述余部进行调制。