[发明专利]激光照射装置

说明书

一种激光照射装置，具备：将自激光光源所输出的激光对应于相位图案进行调制并出射的空间光调制器；将自上述空间光调制器所出射的上述激光朝对象物聚光的物镜；配置于上述激光的光路上的上述空间光调制器与上述物镜之间，将上述激光聚焦的聚焦透镜；配置于上述激光的光路上的上述聚焦透镜的后侧的焦点位置，将上述激光的一部分遮断的狭缝构件，上述相位图案包含将入射于上述物镜的瞳面的上述激光的一部分调制的第1图案、和将上述激光的余部进行调制的第2图案，上述第2图案包含用于将上述激光的上述余部分支成多个衍射光的衍射光栅图案，上述狭缝构件通过狭缝将上述衍射光予以遮断。

技术领域

本发明的一个方面涉及激光照射装置。

背景技术

在专利文献1中记载有对对象物照射激光的激光照射装置。在这种激光照射装置中，激光光源所产生的激光在通过空间光调制器进行调制后，通过物镜聚光至对象物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-51011号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，当激光经由空间光调制器入射于物镜时，会有激光的光束尺寸较物镜的瞳面的尺寸(瞳径)大的情况。在该情况下，激光的一部分入射于物镜的瞳面，另一方面，激光的余部入射于物镜的保持器等的其他构件。入射于物镜的瞳面的激光的一部分为照射于对象物的有效光，入射于其他构件的激光的余部为未照射于对象物的非有效光。若非有效光入射于其他构件的话，则在该其他构件产生热。因此，会有激光的聚光点的位置变化等、激光朝对象物的照射状态发生变化的担忧。

本发明的一个方面有鉴于上述状况而完成，其目的在于，提供可抑制激光朝对象物的照射状态的变化的激光照射装置。

解决问题的技术手段

本发明人们为了解决上述课题，反复研究探讨，其结果，获得了下述的见解。即，为了解决上述课题，在物镜的前段侧，将非有效光遮断即可，因此，例如，在空间光调制器显示包含衍射光栅图案的相位图案而通过衍射使非有效光分支，通过狭缝将被分支了的衍射光遮断即可。本发明的一个方面是基于这样的见解进一步反复研究的结果。

即，本发明的一个方面所涉及的激光照射装置，是将激光沿着第1方向照射于对象物的激光照射装置，具备：输出激光的激光光源；将自激光光源所输出的激光对应于相位图案进行调制并出射的空间光调制器；将自空间光调制器所出射的激光朝对象物聚光的物镜；配置于激光的光路上的空间光调制器与物镜之间且将激光聚焦的聚焦透镜；配置于激光的光路上的聚焦透镜的后侧的焦点位置且将激光的一部分遮断的狭缝构件，相位图案包含将入射于物镜的瞳面的激光的一部分调制的第1图案、和将激光的余部调制的第2图案，第2图案包含用于沿着与第1方向交叉的第2方向使激光的余部分支成多个衍射光的衍射光栅图案，狭缝构件通过狭缝来遮断衍射光。

在此激光照射装置中，自激光光源所输出的激光在通过空间光调制器的相位图案进行调制后，通过物镜朝对象物聚光。空间光调制器的相位图案包含：将入射于物镜的瞳面的激光的一部分(有效光)进行调制的第1图案；和将激光的余部(非有效光)进行调制的第2图案。第2图案包含用于沿着与第1方向交叉的第2方向使光衍射的衍射光栅图案。因此，激光中的非有效光关于与激光的扫描方向交叉的第2方向，分支成多个衍射光。于是，衍射光在聚焦透镜的后侧焦点位置，被狭缝构件的狭缝遮断。其结果，有效光通过狭缝而照射于对象物，另一方面，非有效光的衍射光被狭缝遮断，并未到达物镜。因此，根据该激光照射装置，能够抑制激光朝对象物的照射状态的变化。

在本发明的一个方面所涉及的激光照射装置中，也可为狭缝构件通过以相较于第2方向，在第1方向相对变长的方式形成的狭缝，遮断衍射光。