[发明专利]真空泵

摘要

涡轮分子定子部件通常包括定子叶片的阵列，所述定子叶片布置成与泵送的气体相互作用、安装在内直径和/或外直径毂或肩部上。定子叶片阵列通常形成为位于每个转子叶片阵列或级之间的单独的部件。间隔件被用于将定子叶片阵列或级正确地定位在转子级之间。通常，通过交替地将定子叶片和间隔件放置在堆叠中来形成定子部件的堆叠。弹簧垫圈放置在堆叠的一端和泵壳体之间，以确保间隔件保持在恰当位置并通过由弹簧垫圈纵向穿过堆叠施加的力被一起促动。本发明通过提供如下的定子部件来减少部件的数量并简化泵制造过程：所述定子部件具有回弹性外部部段，且因此，当处于压缩状态下时，所述回弹性外部部段在相邻间隔件之间施加弹簧载荷，使得定子部件在泵制造和操作期间保持在恰当位置。

主权项

1.一种涡轮分子真空泵，其包括：壳体，其用于容纳具有入口侧和出口侧的涡轮分子真空泵的转子部件和定子部件，驱动轴，其联接到所述转子部件以便围绕纵向轴线驱动所述转子部件，轴承器件，其用于将所述驱动轴联接到所述壳体和允许其相对旋转运动，以及间隔件，其用于相对于所述壳体定位和联接所述定子部件；其中，所述定子部件中的每一个均包括从所述纵向轴线开始且在内部部分到外部部分之间径向地延伸的一系列定子叶片，所述定子叶片中的每一个均相对于由所述内部部分限定的平面成角度，其特征在于，所述定子部件中的至少一个的外部部分包括回弹性部分，所述回弹性部分布置成与所述间隔件协作。