[发明专利]真空泵

说明书

涡轮分子定子部件通常包括定子叶片的阵列，所述定子叶片布置成与泵送的气体相互作用、安装在内直径和/或外直径毂或肩部上。定子叶片阵列通常形成为位于每个转子叶片阵列或级之间的单独的部件。间隔件被用于将定子叶片阵列或级正确地定位在转子级之间。通常，通过交替地将定子叶片和间隔件放置在堆叠中来形成定子部件的堆叠。弹簧垫圈放置在堆叠的一端和泵壳体之间，以确保间隔件保持在恰当位置并通过由弹簧垫圈纵向穿过堆叠施加的力被一起促动。本发明通过提供如下的定子部件来减少部件的数量并简化泵制造过程：所述定子部件具有回弹性外部部段，且因此，当处于压缩状态下时，所述回弹性外部部段在相邻间隔件之间施加弹簧载荷，使得定子部件在泵制造和操作期间保持在恰当位置。

技术领域

本发明涉及真空泵。具体地，本发明涉及涡轮分子真空泵的改进。具体地，本发明涉及一种被构造成在涡轮分子真空泵中使用的泵定子。

背景技术

涡轮分子真空泵是本领域技术人员所公知的。此类泵被设计成操作以将室抽空至大约10^-6 mBar及以下的高真空压力，其中气体分子表现出分子流型行为。在这种稀薄的环境中，气体分子通常不彼此相互作用，而是分子与室的壁相互作用并且相比于在更接近大气压力的压力下的气体分子表现出极长的平均自由程。

通常，这种泵包括具有壳体的机构，该壳体布置成容纳泵的部件（包括转子、定子、驱动轴、轴承和马达）。壳体具有入口以允许气体分子进入泵，在泵中气体由泵机构压缩。压缩后的气体然后传递到出口（在该出口处压缩后的气体离开涡轮分子泵）并且通常传递到另一个真空泵上，该另一个真空泵布置成在更接近大气压力的更低真空压力中操作。

涡轮分子转子部件和定子部件包括一系列成角度的叶片阵列，其中邻近的转子叶片由类似的定子叶片阵列介入。因此，如在“Modern Vacuum Practice（现代真空实践）”第三版，Nigel Harris著，由McGraw-Hill在2007年出版（ISBN-10: 0-9551501-1-6））的第9章中所描述的那样，布置了叶片堆叠，其中每个转子叶片阵列继之以定子叶片阵列。定子部件通常包括定子叶片的阵列，所述定子叶片的阵列布置成与泵送的气体相互作用、安装在内直径和/或外直径的毂或肩部上。它们能够由固体金属块机加工而成或由片材金属压制而成。

定子叶片阵列通常形成为位于每个转子叶片阵列（或级）之间的单独的部件。间隔件被用于将定子叶片阵列（或级）正确地定位在转子级之间。通常，通过交替地将定子叶片和间隔件放置在堆叠中来形成定子部件的堆叠。弹簧垫圈被放置在堆叠的一端和泵壳体之间，以确保间隔件被保持在恰当位置并通过由弹簧垫圈纵向穿过堆叠施加的力而被一起促动。由弹簧垫圈施加的力用于在操作期间减少定子级相对于转子的运动。在US5052887中能够找到这种布置的另外的示例。替代性地，弹簧垫圈能够位于间隔件堆叠中的中央位置中，如EP2607706中所描述的那样。

定子能够布置成使得定子叶片从内部部分径向地延伸到外部部分。外部部分能够布置成形成间隔件器件，如WO01/11242中所描述的那样。此外，设置在泵的入口处的轴承通常由所谓的轴承架布置支撑，该轴承架布置能够被构造成与定子间隔器件协作，如EP1281007中所示的那样。

存在以下一般性期望：减少泵部件的数量，由此简化制造过程和改进机械公差。

发明内容

广义上讲，本发明涉及一种涡轮分子泵，其具有一系列定子部件，所述定子部件堆叠在间隔件之间以将定子部件正确地定位在泵的壳体中。所述定子部件中的至少一个具有回弹性的外部部段，且因此，当处于压缩状态下时，该回弹性的外部部段将弹簧载荷施加在相邻的间隔件之间，使得定子部件在泵制造和操作期间被保持在恰当位置。

这种布置具有若干优点，因为它减少了制造泵所需的部件的数量，原因在于不再需要常规的现有技术泵中使用的弹簧垫圈。定子部件能够定位在壳体中的精确度也能够得以改进。定子部件在操作期间被牢固地保持，从而降低了部件在间隔件的约束内嘎嘎作响的风险。