[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种涡轮分子真空泵，其包括：

壳体，其用于容纳具有入口侧和出口侧的涡轮分子真空泵的转子部件和定子部件，

驱动轴，其联接到所述转子部件以便围绕纵向轴线驱动所述转子部件，

轴承器件，其用于将所述驱动轴联接到所述壳体和允许其相对旋转运动，以及

间隔件，其用于相对于所述壳体定位和联接所述定子部件；

其中，所述定子部件中的每一个均包括从所述纵向轴线开始且在内部部分到外部部分之间径向地延伸的一系列定子叶片，所述定子叶片中的每一个均相对于由所述内部部分限定的平面成角度，

其中，所述定子部件中的至少一个的外部部分包括回弹性部分，所述回弹性部分布置成与所述间隔件协作，所述回弹性部分包括安置在所述定子叶片的端部处的顺应性外尖端部段，所述顺应性外尖端部段与所述定子叶片的一端一体地形成并延长该端，其中，定子堆叠包括多个间隔件，每个间隔件介于相邻定子部件之间，并且当位于所述壳体中时，固定器件将所述定子堆叠固定在恰当位置并压缩相应的回弹性部分，并且其特征在于，所述回弹性部分被构造成当处于压缩状态下时将弹簧载荷施加在相邻的间隔件之间，使得所述定子部件在泵制造和操作期间被保持在恰当位置；并且所述间隔件设有呈当定子叶片尖端安置在所述间隔件之间时在相邻间隔件之间的外部预定间隙的形式的止动件，并且当所述外部预定间隙由所述固定器件在压缩状态下闭合时，引起所述定子叶片由所述外部预定间隙压缩以避免所述定子叶片尖端的过度压缩。

2.根据权利要求1所述的涡轮分子真空泵，其中，所述定子叶片的外尖端是所述定子叶片的延伸部，所述延伸部布置成延伸到相邻间隔件之间的空间中，使得所述定子部件的外直径大于所述间隔件的内直径。

3.根据任一前述权利要求所述的涡轮分子真空泵，其中，所述定子部件的外部部分中的每一个均提供所述间隔件和所述壳体之间的所有回弹性。

4.根据权利要求1所述的涡轮分子真空泵，其中，当通过所述固定器件向所述定子堆叠施加压缩力时，所述压缩力引起所述定子叶片的外尖端相对于每个叶片的径向轴线从自然位置运动到平化位置。

5.根据权利要求4所述的涡轮分子真空泵，其中，当处于所述平化位置中时，由所述定子叶片的外尖端施加到所述间隔件的力具有与所述压缩力相等的大小。

6.一种用于涡轮分子真空泵的定子叶片阵列，所述定子叶片阵列包括从内部部分径向地延伸到外部部分的一系列定子叶片，所述定子叶片中的每一个均相对于由所述内部部分限定的平面成角度，其特征在于，所述定子叶片阵列的外部部分包括回弹性部分，所述回弹性部分布置成与间隔件协作，所述回弹性部分包括安置在所述定子叶片的端部处的顺应性外尖端部段，所述顺应性外尖端部段与所述定子叶片的一端一体地形成并延长该端，所述回弹性部分被构造成当处于压缩状态下时将弹簧载荷施加在相邻的间隔件之间，使得所述定子叶片阵列在泵制造和操作期间被保持在恰当位置。