[发明专利]稀释药液制造装置和稀释药液制造方法在审
| 申请号： | 201780056577.6 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN109715568A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 藤村侑;颜畅子;床嶋裕人 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/68 | 分类号： | C02F1/68;B01D19/00;B01F1/00;B01F5/06;B01J23/42;B08B3/08;C02F1/20;C02F1/58;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种稀释药液的制造装置，其具有下述构成：在超纯水W供给线(1)上具有负载有铂族金属的树脂柱(2)和膜式脱气装置(3)和气体溶解膜装置(4)，在负载有铂族金属的树脂柱(2)与膜式脱气装置(3)之间设有洗涤药液的注入装置(5)。在膜式脱气装置(3)的气相侧连接着非活性气体源(6)并且在气体溶解膜装置(4)的气相侧也连接着非活性气体源(7)，气体溶解膜装置(4)与排出线(8)连通。基于该稀释药液的制造装置，能够在半导体洗涤时的洗涤工序中，安全地制造/供给已去除溶解氧以及溶解过氧化氢这两者的稀释药液。 | ||
| 搜索关键词： | 稀释 气体溶解 脱气装置 制造装置 膜装置 膜式 非活性气体 铂族金属 树脂柱 半导体洗涤 过氧化氢 洗涤工序 注入装置 侧连接 超纯水 供给线 溶解氧 去除 连通 洗涤 制造 溶解 出线 | ||
【主权项】：
1.一种稀释药液的制造装置，其是使用超纯水对药液进行稀释的稀释药液的制造装置，其中，在超纯水供给线上依次具有负载有铂族金属的树脂柱和膜式脱气装置，在所述负载有铂族金属的树脂柱与所述膜式脱气装置之间设有药液注入装置。
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