[发明专利]稀释药液制造装置和稀释药液制造方法在审
| 申请号： | 201780056577.6 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN109715568A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 藤村侑;颜畅子;床嶋裕人 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/68 | 分类号： | C02F1/68;B01D19/00;B01F1/00;B01F5/06;B01J23/42;B08B3/08;C02F1/20;C02F1/58;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 稀释 气体溶解 脱气装置 制造装置 膜装置 膜式 非活性气体 铂族金属 树脂柱 半导体洗涤 过氧化氢 洗涤工序 注入装置 侧连接 超纯水 供给线 溶解氧 去除 连通 洗涤 制造 溶解 出线 | ||
【权利要求书】：
1.一种稀释药液的制造装置，其是使用超纯水对药液进行稀释的稀释药液的制造装置，其中，
在超纯水供给线上依次具有负载有铂族金属的树脂柱和膜式脱气装置，在所述负载有铂族金属的树脂柱与所述膜式脱气装置之间设有药液注入装置。
2.如权利要求1所述的稀释药液的制造装置，其中，
在所述膜式脱气装置的后段设有非活性气体溶解膜装置。
3.如权利要求1或2所述的稀释药液的制造装置，其中，
所述膜式脱气装置是吸入非活性气体的方式的装置。
4.一种稀释药液的制造方法，其是使用超纯水对药液进行稀释的稀释药液的制造方法，其中，
使稀释用的超纯水通过负载有铂族金属的树脂柱后，添加药液成分来配制稀释药液，接着对所得到的稀释药液进行脱气。
5.如权利要求4所述的稀释药液的制造方法，其中，
在所述脱气后的稀释药液中溶解非活性气体。
6.如权利要求4或5所述的稀释药液的制造方法，其中，
一边在气相侧吸入非活性气体一边进行所述脱气。
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