[发明专利]真空泵以及真空泵所具备的固定圆板

摘要

本发明的目的在于缓和真空泵的螺旋状板局部成为高压的现象。在本发明的实施方式的真空泵中，在固定圆板上形成孔部，进而局部地增大固定圆板的末端（外周侧/外周部）的孔部的比率。更详细而言，（1）将大致相同大小的孔部从固定圆板的内周侧向外周侧并排配设，使配设于最外侧的列的孔部的数量多于内侧的列。（2）将大致相同大小的孔部从固定圆板的内周侧向外周侧并排配设，将配设于最外侧的列的孔部中的几个整合成为一个孔部。（3）在固定圆板上配设T字型的孔部。（4）在固定圆板上配设L字型的孔部。通过这些结构，在螺旋状板的末端附近难以产生成为高压的部分，因此能够减少由液化或固化的气体引起的反应生成物堆积的情况。

主权项

1.一种真空泵，具备：形成有吸气口和排气口的外装体，旋转轴，内包于所述外装体中，被旋转自如地支承，螺旋状板，在所述旋转轴或配设于所述旋转轴的旋转圆筒体的外周面上螺旋状地配设，设有至少一个狭缝，固定圆板，在所述螺旋状板的所述狭缝内，与该狭缝设有既定的间隔地配置，具有贯通的孔部，固定所述固定圆板的间隔部，真空排气机构，通过所述螺旋状板与所述固定圆板的相互作用将从所述吸气口侧吸入的气体向所述排气口侧移送，其特征在于，所述孔部至少配设在所述固定圆板的外周侧的区域和内周侧的区域，所述外周侧的区域的开口率比所述内周侧的区域的开口率高。