[发明专利]真空泵以及真空泵所具备的固定圆板

说明书

本发明的目的在于缓和真空泵的螺旋状板局部成为高压的现象。在本发明的实施方式的真空泵中，在固定圆板上形成孔部，进而局部地增大固定圆板的末端（外周侧/外周部）的孔部的比率。更详细而言，（1）将大致相同大小的孔部从固定圆板的内周侧向外周侧并排配设，使配设于最外侧的列的孔部的数量多于内侧的列。（2）将大致相同大小的孔部从固定圆板的内周侧向外周侧并排配设，将配设于最外侧的列的孔部中的几个整合成为一个孔部。（3）在固定圆板上配设T字型的孔部。（4）在固定圆板上配设L字型的孔部。通过这些结构，在螺旋状板的末端附近难以产生成为高压的部分，因此能够减少由液化或固化的气体引起的反应生成物堆积的情况。

技术领域

本发明涉及真空泵以及真空泵所具备的固定圆板。

详细而言，涉及真空泵以及真空泵所具备的固定圆板，其中，具备螺旋状板的真空泵的螺旋状板使局部成为高压这一现象得到缓和。

背景技术

在用于进行所配设的真空室内的真空排气处理的真空泵中，收纳有气体移送机构，该气体移送机构由旋转部和固定部构成并且是发挥排气功能的构造物。在该气体移送机构中，具有通过配设在旋转部的螺旋状板与配设在固定部的固定圆板的相互作用来压缩气体的结构。

专利文献1 日本特表2015-505012号。

在专利文献1中记载了如下技术：在真空泵的旋转圆筒的侧面设置有螺旋状板（螺旋翼30等），在该螺旋状板处至少设置一个的槽40（在本申请的说明中称为狭缝的结构）内配设有固定圆板（有孔交叉元件14等），该固定圆板处设有阵列状的孔部（穿孔38等）。

图9是用于说明作为配设在上述那样的以往的真空泵中的固定圆板的一例的固定圆板1010的图。如图9所示，在以往的真空泵中，通过螺旋状板与孔部1020以交错配置而设的固定圆板1010的相互作用（A）以及螺旋状板与壳体的相互作用（B），产生排气作用。

孔部1020的比率（固定圆板中的孔部所占的比例）越大，被压缩的气体越容易穿过气体移送机构，但另一方面，排气作用变小。因此，孔部1020的比率根据排出的气体的压力（例如，从内周侧朝向外周侧逐渐增大地设计孔的大小等）设定。

但是，在这种结构的真空泵中，在上述相互作用（A）和（B）两者同时产生的螺旋状板的末端（外周侧）附近，特别是压缩气体的作用变得非常强。

其结果，在螺旋状板的末端附近产生局部成为高压的部分（固定圆板的狭缝的上部等）。

因此，气体超过蒸汽压而液化或固化而生成的反应生成物有可能堆积在真空泵内。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空泵以及真空泵所具备的固定圆板，该真空泵缓和具备螺旋状板的真空泵的螺旋状板局部地成为高压这一情况。

在技术方案1记载的本发明中，提供一种真空泵，具备：形成有吸气口和排气口的外装体；旋转轴，内包于所述外装体中，旋转自如地被支承；螺旋状板，在所述旋转轴或配设于所述旋转轴的旋转圆筒体的外周面上螺旋状地配设，设有至少一个狭缝；固定圆板，在所述螺旋状板的所述狭缝内，与该狭缝设有既定的间隔地配置，具有贯通的孔部；固定所述固定圆板的间隔部；真空排气机构，通过所述螺旋状板与所述固定圆板的相互作用将从所述吸气口侧吸入的气体向所述排气口侧移送，其特征在于，所述孔部至少配设在所述固定圆板的外周侧的区域和内周侧的区域，所述外周侧的区域的开口率比所述内周侧的区域的开口率高。

在技术方案2记载的本发明中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，所述孔部是具有大致同径形状的圆孔，在所述固定圆板处，与内周侧的既定区域相比，在外周侧的既定区域，更多的该圆孔以所述固定圆板的假想中心为中心并排配设，由此，所述固定圆板的外周侧的开口率比内周侧高。