[发明专利]真空泵以及真空泵所具备的固定圆板

权利要求书

1.一种真空泵，具备：

形成有吸气口和排气口的外装体，

旋转轴，内包于所述外装体中，被旋转自如地支承，

螺旋状板，在所述旋转轴或配设于所述旋转轴的旋转圆筒体的外周面上螺旋状地配设，设有至少一个狭缝，

固定圆板，在所述螺旋状板的所述狭缝内，与该狭缝设有既定的间隔地配置，具有贯通的孔部，

固定所述固定圆板的间隔部，

真空排气机构，通过所述螺旋状板与所述固定圆板的相互作用将从所述吸气口侧吸入的气体向所述排气口侧移送，

其特征在于，

所述孔部至少配设在所述固定圆板的外周侧的区域和内周侧的区域，所述外周侧的区域的外周侧开口率比所述内周侧的区域的内周侧开口率高，

所述外周侧的区域为所述固定圆板的三分之一的范围，

所述外周侧开口率与所述内周侧开口率成式1的关系，

2≤所述外周侧开口率/所述内周侧开口率≤9……式1。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部是具有大致同径形状的圆孔，

在所述固定圆板处，外周侧的既定区域比内周侧的既定区域有更多的该圆孔以所述固定圆板的假想中心为中心并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部是具有大致同径形状的圆孔以及细长形状的长孔，

在所述固定圆板中，在内周侧的既定的区域，该圆孔沿半径方向并排配设，且在外周侧的既定的区域，该长孔沿半径方向并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部为，在所述固定圆板的外周侧沿着圆周方向延伸的细长形状的外周侧长孔和在比所述外周侧长孔靠内周侧的位置沿半径方向延伸的细长形状的内周侧长孔以大致T字的方式连结而形成的T字孔，

在所述固定圆板处，该T字孔在圆周方向上并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部为，在所述固定圆板的外周侧沿着圆周方向延伸的细长形状的外周侧长孔和在比所述外周侧长孔靠内周侧的位置沿半径方向延伸的细长形状的内周侧长孔以大致L字的方式连结而形成的L字孔，

在所述固定圆板处，该L字孔在圆周方向上并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

所述内周侧长孔与所述固定圆板的半径方向具有既定的倾斜角。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述倾斜角是由以下方式确定的角度，即，使得相邻的所述内周侧长孔所包围的内周壁部的中心与相邻的所述外周侧长孔所包围的外周壁部的中心不隔着所述孔部地在所述固定圆板的半径方向的假想直线上排列。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述固定圆板在配置于内周侧的所述孔部中的至少一个孔部被分割的位置沿直径方向被分割，在该被分割的内周侧的孔部的分割部分形成有间隙。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述固定圆板在不包含所述孔部的该固定圆板上形成有至少一处从内周侧朝向外周侧的最短路径的热通道。

10.一种固定圆板，所述固定圆板是权利要求1至9中任一项所述的真空泵所具备的固定圆板。