[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201780054013.9 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109690274B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 川野晋司;马渡和明 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 吕文卓 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器，检测压力介质的压力。压力传感器具备传感器基板(10)和保护膜(30)。传感器基板具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)。保护膜设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，抑制所述压力介质所含异物的附着。形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能。压力传感器还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应。根据该压力传感器，能够抑制压力的检测精度的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，对压力介质的压力进行检测，其特征在于，具备：传感器基板(10)，具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)；以及保护膜(30)，设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，用于抑制所述压力介质中包含的异物的附着；形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能；还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应。
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