[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201780054013.9 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109690274B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 川野晋司;马渡和明 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 吕文卓 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器，对压力介质的压力进行检测，其特征在于，
具备：
传感器基板(10)，具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)；以及
保护膜(30)，设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，用于抑制所述压力介质中包含的异物的附着；
形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能；
还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在所述底面未设有凹凸并且在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应，
所述凹凸中的谷部的底(13b)到山部的顶点(13c)的高度(L)为所述保护膜(30)的在所述谷部的底(13b)处设置的部分的厚度(d2)以上。
2.一种压力传感器，对压力介质的压力进行检测，其特征在于，
具备：
传感器基板(10)，具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)；以及
保护膜(30)，设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，用于抑制所述压力介质中包含的异物的附着；
形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能；
还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有亲液性的亲液膜的状态而相比于上述亲液膜而言被提高了上述亲液性，
所述凹凸中的谷部的底(13b)到山部的顶点(13c)的高度(L)为所述保护膜(30)的在所述谷部的底(13b)处设置的部分的厚度(d2)以上。
3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述附着防止部从所述侧面的与所述底面的边界起在规定范围内设有所述凹凸，在所述凹凸处设有所述保护膜。
4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，
所述保护膜的在所述凹凸处设置的部分的厚度(d2)为所述保护膜的在所述底面设置的部分的厚度(d1)以上。
5.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述附着防止部不设置在所述底面。
6.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述凹部的开口端的开口面积大于所述底面的面积。
7.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述凹部的开口端的开口面积小于所述底面的面积。
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