[发明专利]压力传感器

说明书

压力传感器，检测压力介质的压力。压力传感器具备传感器基板(10)和保护膜(30)。传感器基板具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)。保护膜设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，抑制所述压力介质所含异物的附着。形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能。压力传感器还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应。根据该压力传感器，能够抑制压力的检测精度的降低。

关联申请的相互参照

本申请基于2016年9月6日提出的日本申请第2016－173921号并在此引用其记载内容。

技术领域

本发明涉及压力传感器。

背景技术

以往，作为压力传感器的一例，有专利文献1公开的压力传感器。该压力传感器，为了防止妨碍压力检测之物(以下称为异物)附着到凹部的表面，具有在凹部的表面设置的保护部。保护部由氟类树脂的膜、氟类树脂的片材、或者氟类凝胶等构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2015－197367号公报

发明内容

发明概要

但是，关于压力传感器所处的压力介质，考虑异物的量少的状态、多的状态等各种状态。因此，根据压力介质的状态，压力传感器有可能其保护膜的功能不充分而无法防止异物附着到凹部。

本发明针对上述问题点而做出，目的在于提供一种压力传感器，其能够提高抑制异物向凹部附着的效果。

本发明的第一方式的压力传感器，对压力介质的压力进行检测。压力传感器具备传感器基板和保护膜。传感器基板具有比周边凹陷的凹部、以及由于凹部的形成从而比周边薄的薄壁部。保护膜设在凹部的侧面的至少一部分、以及薄壁部的一面即凹部的底面，抑制压力介质所含异物的附着。形成有保护膜的凹部和薄壁部配置在压力介质中，薄壁部具有检测压力介质的压力的功能。压力传感器还具备附着防止部，该附着防止部以在设于侧面的至少一部分的凹凸处作为保护膜而设有相对于压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应

这样，本发明在凹部的侧面的至少一部分、以及薄壁部的一面即凹部的底面设有用于抑制压力介质所含异物的附着的保护膜。因此，本发明能够抑制压力介质所含异物向设有保护膜的部位附着。

此外，本发明还具备附着防止部，该附着防止部以在凹凸处设有疏液膜的状态发挥莲花效应。该附着防止部，除了疏液膜的疏液性之外，以在凹凸处设有疏液膜的状态发挥莲花效应，因此与仅在平坦的侧面设有疏液膜的情况相比异物更不易附着。因此，本发明能够提高抑制异物向凹部附着的效果。因此，本发明能够与压力介质的状态无关地抑制异物向凹部附着。

另外，本发明由于在凹部的侧面设有附着防止部，因此能够抑制异物在侧面堆积、异物堆积而成的堆积层到达薄壁部。因此，本发明能够抑制压力的检测精度的降低。

本发明的第二方式的压力传感器，对压力介质的压力进行检测。压力传感器具备传感器基板和保护膜。传感器基板具备比周边凹陷的凹部、以及由于凹部的形成从而比周边薄的薄壁部。保护膜设在凹部的侧面的至少一部分、以及薄壁部的一面即凹部的底面，抑制压力介质所含异物的附着。形成有保护膜的凹部和薄壁部配置在压力介质中，薄壁部具有检测压力介质的压力的功能。压力传感器还具备附着防止部，该附着防止部以在设于侧面的至少一部分的凹凸处作为保护膜而设有相对于压力介质的液体具有亲液性的亲液膜的状态而相比于亲液膜而言被提高了亲液性。