[发明专利]基板处理装置

摘要

一种基板处理装置可包括：第一盘，其设置在腔室中并且被配置为执行转动运动，第一盘包括周期性地布置在距中心轴的特定半径内的多个座孔；多个第二盘，其分别设置在座孔中并且被配置为根据第一盘的转动运动进行绕转及旋转运动；第一旋转连接器结构，其设置在第二盘和座孔之间，以允许第二盘的旋转运动及与第二盘的电连接；静电卡盘，其设置在第二盘上并配置成使用通过第一旋转连接器结构提供的电力保持基板；第一磁性齿轮，其固定到第二盘并配置成在第二盘上施加扭矩；和第二磁性齿轮，其设置在腔室中，以与第一磁性齿轮相互作用但被阻止转动。

主权项

1.一种基板处理装置，包括：第一盘，其设置在腔室中并且构造成执行转动运动，所述第一盘包括多个座孔，所述座孔周期性地布置在距中心轴的特定半径内；多个第二盘，其分别设置在所述座孔中并构造成根据所述第一盘的所述转动运动执行绕转及旋转运动；第一旋转连接器结构，其设置在所述第二盘和所述座孔之间，以允许所述第二盘的旋转运动和与所述第二盘的电连接；静电卡盘，其设置在所述第二盘上并配置成使用通过所述第一旋转连接器结构供应的电力来保持基板；第一磁性齿轮，其固定至所述第二盘并被配置为在所述第二盘上施加扭矩；和第二磁性齿轮，其设置在所述腔室中，以与所述第一磁性齿轮相互作用但被阻止转动。