[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

第一盘，其设置在腔室中并且构造成执行转动运动，所述第一盘包括多个座孔，所述座孔周期性地布置在距中心轴的特定半径内；

多个第二盘，其分别设置在所述座孔中并构造成根据所述第一盘的所述转动运动执行绕转及旋转运动；

第一旋转连接器结构，其设置在所述第二盘和所述座孔之间，以允许所述第二盘的旋转运动和与所述第二盘的电连接；

静电卡盘，其设置在所述第二盘上并配置成使用通过所述第一旋转连接器结构供应的电力来保持基板；

第一磁性齿轮，其固定至所述第二盘并被配置为在所述第二盘上施加扭矩；和

第二磁性齿轮，其设置在所述腔室中，以与所述第一磁性齿轮磁性耦合但被阻止转动。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中所述第一磁性齿轮包括：

旋转磁体支撑板，其与所述第二盘固定耦合，所述旋转磁体支撑板具有圆盘形状；和

多个第一永磁体，其设置在所述旋转磁体支撑板的外周表面上，具有交替的磁化方向并且彼此间隔特定距离，

其中所述第二磁性齿轮包括：

固定磁体支撑板，其设置在所述腔室的底面和所述第一盘之间，所述固定磁体支撑板具有垫圈或圆环形状；和

多个第二永磁体，其具有交替的磁化方向，设置在所述固定磁体支撑板的外周表面上，

其中，所述第一永磁体和所述第二永磁体构造成根据所述第二盘的旋转状态而在所述第二盘上施加吸引力或排斥力，从而转动所述第二盘。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中所述静电卡盘包括：

静电卡盘主体；

电极安置部分，其形成在所述静电卡盘主体的顶面中，以具有凹陷形状；

绝缘构件，其填充所述电极安置部分；和

埋在所述绝缘构件中的一对静电电极。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，所述一对静电电极中的每一个静电电极具有半圆形状或同心垫圈形状。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，还包括以下中的至少一个：

第一盘中心轴，其从所述第一盘的中心轴垂直延伸；

波纹管结构，其设置成围绕所述第一盘中心轴并以真空方式气密地密封所述第一盘中心轴，所述波纹管结构从所述腔室的底面延伸到所述腔室的外部；

第二旋转连接器结构，其设置成穿过所述波纹管结构并轴耦合至所述第一盘中心轴的一端，所述第二旋转连接器结构被构造为允许所述第一盘中心轴的旋转运动以及与所述第一盘中心轴的电连接；和

旋转驱动单元，其被配置为旋转所述第一盘中心轴。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，还包括磁性齿轮垂直移动单元，其被配置为沿直接垂直方向移动所述第二磁性齿轮并且用于允许所述第一磁性齿轮的布置平面与所述第二磁性齿轮的布置平面重合，

其中所述磁性齿轮垂直移动单元包括：

磁性齿轮垂直驱动单元，其放置在所述腔室的外部并配置成执行线性运动；和

连杆，其连接所述磁性齿轮垂直驱动单元和所述第二磁性齿轮。

7.如权利要求1所述的基板处理装置，其中所述第一旋转连接器结构包括：

上轴承和下轴承，其在垂直方向上彼此间隔开；

滑环主体，其设置在所述上轴承和所述下轴承之间；

多个滑环，其设置在所述滑环主体的外周表面上；和

电刷，其电连接到所述滑环。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中所述静电卡盘包括：

静电卡盘主体；

绝缘构件，其设置在所述静电卡盘主体的顶面上，所述绝缘构件具有垫圈或圆环形状；和

静电电极，其设置在所述绝缘构件的顶面上，所述静电电极具有图案化形状。