[发明专利]用于基板的传输系统和加工系统在审
| 申请号： | 201780048605.X | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109689541A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 弗洛里安·瓦姆斯勒;阿希姆·阿诺德;克劳斯·奥佩尔特 | 申请（专利权）人： | 亚席斯自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/64 | 分类号： | B65G47/64;B65G47/52;B65G47/91;H01L21/683;B65G21/20;B65G47/14;H01L21/677;H01L21/67;B65G51/02 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;时永红 |
| 地址： | 德国多尔*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于基板(19)，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统(1)，具有：用于保持和传输基板(19)的第一装置(4)，其具有抓取头(6)，抓取头在其下侧(10)上具有至少一个用于放置基板的第一支承面(11)和至少一个将基板相对于该支承面吸附的抽吸装置(8)；用于保持和传输基板的第二装置(5)，其具有至少一个第二支承面(18)，基板置于第二支承面上；以及用于将基板从第二支承面移动至第一支承面的机构(20)。该机构具有至少一个设置在第二支承面下方的压缩空气喷嘴(21)，使得由压缩空气喷嘴产生的/可产生的压缩空气流朝向位于第二支承面上的基板的方向流动，以将基板朝向第一支承面的方向升高。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 支承面 支承 压缩空气喷嘴 传输基板 传输系统 抓取头 压缩空气流 电路板 太阳能电池 抽吸装置 第二装置 第一装置 方向流动 基板相对 加工系统 晶片 吸附 升高 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于基板(19)的，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统(1)，所述传输系统(1)具有：用于保持和传输所述基板(19)的第一装置(4)，该第一装置具有抓取头(6)，所述抓取头在其下侧(10)上具有用于放置所述基板(19)的至少一个第一支承面(11)和至少一个抽吸装置(8)，以用于将所述基板(19)相对于所述支承面(11)进行吸附；和用于保持和传输所述基板(19)的第二装置(5)，所述第二装置具有至少一个第二支承面(18)，所述基板(19)置于所述第二支承面上；和用于将所放置的基板(19)从所述第二支承面(18)移动至所述第一支承面(11)的机构(20)，其特征在于，所述机构(20)具有至少一个压缩空气喷嘴(21)，所述压缩空气喷嘴设置在第二支承面(18)下方，使得通过所述压缩空气喷嘴产生的压缩空气流朝向位于所述第二支承面(18)上的基板(19)的方向流动，以使所述基板(19)朝向所述第一支承面(11)的方向升高。
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