[发明专利]用于基板的传输系统和加工系统

说明书

本发明涉及一种用于基板(19)，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统(1)，具有：用于保持和传输基板(19)的第一装置(4)，其具有抓取头(6)，抓取头在其下侧(10)上具有至少一个用于放置基板的第一支承面(11)和至少一个将基板相对于该支承面吸附的抽吸装置(8)；用于保持和传输基板的第二装置(5)，其具有至少一个第二支承面(18)，基板置于第二支承面上；以及用于将基板从第二支承面移动至第一支承面的机构(20)。该机构具有至少一个设置在第二支承面下方的压缩空气喷嘴(21)，使得由压缩空气喷嘴产生的/可产生的压缩空气流朝向位于第二支承面上的基板的方向流动，以将基板朝向第一支承面的方向升高。

技术领域

本发明涉及一种用于基板的，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统，所述传输系统具有：用于保持和传输所述基板的第一装置，该第一装置具有抓取头(Greifkopf)，所述抓取头在其下侧上具有用于放置基板的至少一个第一支承面和至少一个抽吸装置，以用于将所述基板相对于支承面吸附；和用于保持和传输所述基板的第二装置，所述第二装置具有至少一个第二支承面，所述基板置于所述第二支承面上；以及用于将所放置的基板从第二支承面移动至第一支承面的机构。

此外，本发明涉及一种用于基板，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的加工系统，所述加工系统具有：用于处理或加工所述基板的至少一个工作站或加工站；和至少一个上述类型的传输系统，所述传输系统例如用于将基板从一个加工站带到另一加工站。

背景技术

本文开始所述类型的传输系统在现有技术中是已知的。在批量生产的情况下，基板不是手动地从一个加工站运送到下一加工站，而是自动化地运送。因此，要可靠地确保在制造工艺中对清洁和保养的要求。为了在传输时不损坏基板，尤其需要能够实现传输基板的装置，通过该装置不会损坏基板。因此，为了进行传输例如常见的是，使能够放置基板的支承面构成为可移动的，以将基板从加工位置移动到传输位置或转移位置。在此通常使用传输带或传送带，可将基板置于其上并运送穿过加工站。由于基板简单地放置在传输带上，避免了可能会损坏基板的保持力。为了防止基板脱离传送带，还已知的是，在需要时设定负压，所述负压使基板吸附在支承面上。通过负压避免了对基板施加机械力并且仍能确保保持。

以负压进行工作也在下述装置中得到证实，所述装置从上方抓取基板，其方式为：所述装置将基板吸附在抓取头的支承面上。如果抓取头随后移动，则基板能够以简单的方从一个加工站移动到下一加工站。为了将基板从一个装置转移到另一装置，已知的是，将抓取头位移或放置在基板上，以抓取基板。如果所描述的装置一起工作，那么能够以简单的方式提供传输系统，该传输系统使得能够可靠地通过具有多个加工站的加工系统对基板进行加工并进行传输。

发明内容

本发明的目的是，对本文开始提及类型的传输系统进行改进，使得能够安全且低成本地将基板从第一装置转移到第二装置。