[发明专利]用于基板的传输系统和加工系统

权利要求书

1.一种用于基板(19)的，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的传输系统(1)，所述传输系统(1)具有：用于保持和传输所述基板(19)的第一装置(4)，该第一装置具有抓取头(6)，所述抓取头在其下侧(10)上具有用于放置所述基板(19)的至少一个第一支承面(11)和至少一个抽吸装置(8)，以用于将所述基板(19)相对于所述支承面(11)进行吸附；和用于保持和传输所述基板(19)的第二装置(5)，所述第二装置具有至少一个第二支承面(18)，所述基板(19)置于所述第二支承面上；和用于将所放置的基板(19)从所述第二支承面(18)移动至所述第一支承面(11)的机构(20)，其特征在于，所述机构(20)具有至少一个压缩空气喷嘴(21)，所述压缩空气喷嘴设置在第二支承面(18)下方，使得通过所述压缩空气喷嘴产生的压缩空气流朝向位于所述第二支承面(18)上的基板(19)的方向流动，以使所述基板(19)朝向所述第一支承面(11)的方向升高。

2.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述机构(20)具有多个彼此平行设置的压缩空气喷嘴(21)，用于升高相应的所述基板(19)。

3.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述压缩空气喷嘴(21)对称地布置。

4.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述压缩空气喷嘴(21)设置在所述第二支承面(18)的旁边。

5.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，至少一个压缩空气喷嘴居中地设置在第二支承面(18)的自由空间中。

6.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述第一支承面(11)和/或第二支承面(18)通过至少一个可移动地支承的传输带(9、15)形成。

7.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述第一支承面(11)和/或第二支承面(18)通过至少两个平行且彼此间隔开地设置的并且可移动地支承的传输带(9、15)形成。

8.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述压缩空气喷嘴(21)与整个压缩空气产生器(25)流体连接。

9.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述机构(20)具有至少一个可操控的阀(23)，用于调整穿流横截面。

10.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述第二装置(5)具有至少一个传感器(27)，以用于检测所述基板(19)是否位于所述第二支承面(18)上，尤其是在到所述第一装置(4)的转移区域(28)中。

11.根据上述权利要求之一所述的传输系统，其特征在于，所述传感器构成为无接触工作的传感器(27)，尤其是构成为间距传感器。

12.一种用于基板(19)的，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的加工系统(2)，所述加工系统具有：用于处理或加工所述基板(19)的至少一个加工站(3)；和至少一个根据权利要求1至11之一所述的传输系统(1)。