[发明专利]振动波马达及光学设备有效
申请号: | 201780040601.7 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN109417357B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 芦泽隆利;武藤梓 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | H02N2/12 | 分类号: | H02N2/12;B06B1/06;G02B7/08;H01L41/09;H02N2/14;H02N2/16 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 张谟煜;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
提供一种即便为低密度亦可获得良好的驱动特性的振动波马达。本发明的振动波马达(10)具备:电‑机械转换元件(13);弹性体(12),其通过上述电‑机械转换元件(13)的振动而在驱动面产生振动波;及相对运动构件(15),其与上述弹性体(12)的上述驱动面接触,并由上述振动波驱动旋转;上述电‑机械转换元件(13)的密度为4.2~6.0×10 |
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搜索关键词: | 振动 马达 光学 设备 | ||
【主权项】:
1.一种振动波马达,具备:电‑机械转换元件;弹性体,其由上述电‑机械转换元件的振动而在驱动面产生振动波;及相对运动构件,其与上述弹性体的上述驱动面接触,并由上述振动波驱动旋转;其特征在于,上述电‑机械转换元件的密度为4.2~6.0×103kg/m3,在上述弹性体的上述驱动面侧设置有多个沟槽,在将上述多个沟槽的至少一个沟槽的深度设为T,将上述沟槽的底部至上述第1面为止的厚度设为B,并且将上述电‑机械转换元件的厚度定义为C的情形时,T/(B+C)的值为1.3~2.8的范围。
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