[发明专利]振动波马达及光学设备

说明书

提供一种即便为低密度亦可获得良好的驱动特性的振动波马达。本发明的振动波马达(10)具备：电‑机械转换元件(13)；弹性体(12)，其通过上述电‑机械转换元件(13)的振动而在驱动面产生振动波；及相对运动构件(15)，其与上述弹性体(12)的上述驱动面接触，并由上述振动波驱动旋转；上述电‑机械转换元件(13)的密度为4.2～6.0×10³kg/m³，在上述弹性体(12)的上述驱动面侧设置有多个沟槽(12c)，在将上述多个沟槽(12c)的至少一个沟槽的深度设为T，将上述沟槽(12c)的底部至上述第1面为止的厚度设为B，并且将上述电‑机械转换元件(13)的厚度定义为C的情形时，T/(B+C)的值为1.3～2.8的范围。

技术领域

本发明涉及振动波马达及光学设备。

背景技术

振动波马达利用压电体的伸缩而在弹性体的驱动面产生行进性振动波(下文中略记为行波)(参照专利文献1)。此种振动波马达的振子通常是由电-机械转换元件(以下称为压电体)与弹性体构成。先前，压电体通常是由被通称为PZT的锆钛酸铅这样的材料构成，但近年来，因环境问题而对无铅材料进行研究，且正研究将其搭载在振动波马达(参照专利文献1)。

先前技术文献

专利文献

专利文献1：日本特公平1-17354号公报

发明内容

本发明将振动波马达设为如下构成，具备：电-机械转换元件；弹性体，其通过上述电-机械转换元件的振动而在驱动面产生振动波；及相对运动构件，其与上述弹性体的上述驱动面接触，并由上述振动波驱动旋转；上述电-机械转换元件的密度为4.2～6.0×10³kg/m³，在上述弹性体的上述驱动面侧设置有多个沟槽，且在将上述多个沟槽的至少一个沟槽的深度设为T，将上述沟槽的底部至上述第1面为止的厚度设为B，并且将上述电-机械转换元件的厚度定义为C的情形时，T/(B+C)的值为1.3～2.8的范围。

另外，本发明的光学设备设为具备上述振动波马达的构成。

附图说明

图1是组入有实施方式的振动波马达10的透镜镜筒20及相机1的概略剖面图。

图2是将振子11及移动件15的一部分切除后的立体图。

图3是表示压电体13的图，(a)是与弹性体的接合面，(b)是其背面。

图4是对实施方式的振动波马达10的驱动装置80进行说明的框图。

图5是对振动波马达10的振子11的等效电路进行说明的图，(a)是等效电路，(b)是机械品质因数Qm的计算式。

图6是表示分别使T值、B值、C值变化并利用CAE分析算出Lm值所得的结果的图表。

图7是表示T/(B+C)与驱动电压的关系的图表。

图8是对T/(B+C)与振子11的突起部12d的举动的关系进行说明的图，(a)是T/(B+C)小的情形，(b)是T/(B+C)大的情形。

图9是启动振动波马达10时的时序图。

图10是将数值记入至图7的图表而成的图。

具体实施方式

以下，一面参照附图，一面对振动波马达10的实施方式详细地进行说明。图1是组入有实施方式的振动波马达10的透镜镜筒20及相机1的概略剖面图。

作为振动波马达，实施方式对圆环型振动波马达10进行说明。