[发明专利]振动波马达及光学设备

权利要求书

1.一种振动波马达，具备：

电-机械转换元件；

弹性体，其由上述电-机械转换元件的振动而在驱动面产生振动波；及

相对运动构件，其与上述弹性体的上述驱动面接触，并由上述振动波驱动旋转；

其特征在于，

上述电-机械转换元件的密度为4.2～6.0×10³kg/m³，

在上述弹性体的上述驱动面侧设置有多个沟槽，

在将上述多个沟槽的至少一个沟槽的深度设为T，将上述沟槽的底部至上述弹性体的与上述电-机械转换元件的接合面为止的厚度设为B，并且将上述电-机械转换元件的厚度定义为C的情形时，

T/(B+C)的值为1.43～2.8的范围，

上述电-机械转换元件是以铌酸钾钠、铌酸钾、铌酸钠或钛酸钡为主成分的材料。

2.如权利要求1所述的振动波马达，

具备驱动电路，该驱动电路对上述振动波马达供给反复变动的驱动信号，

在将上述振动波马达自速度0启动至大于速度0的速度时，针对上述驱动信号，基于T/(B+C)值对频率扫描的频率变化率进行变更。

3.如权利要求2所述的振动波马达，

针对频率扫描的频率变化率，

在T/(B+C)为1.43～1.7的范围时，将频率的变化量设为0.7kHz/msec以下，

在T/(B+C)为1.7～2.8的范围时，将频率的变化量设为0.5kHz/msec以下。

4.一种振动波马达，具备：

电-机械转换元件；

弹性体，其由上述电-机械转换元件的振动而在驱动面产生振动波；及

相对运动构件，其与上述弹性体的上述驱动面接触，并由上述振动波驱动旋转；

其特征在于，

上述电-机械转换元件的密度为4.2～4.7×10³kg/m³，

在上述弹性体的上述驱动面侧设置有多个沟槽，

在将上述多个沟槽的至少一个沟槽的深度设为T，将上述沟槽的底部至上述弹性体的与上述电-机械转换元件的接合面为止的厚度设为B，并且将上述电-机械转换元件的厚度定义为C的情形时，

T/(B+C)的值为1.3～2.8的范围，

上述电-机械转换元件是以铌酸钾钠、铌酸钾或铌酸钠为主成分的材料。

5.如权利要求4所述的振动波马达，

具备驱动电路，该驱动电路对上述振动波马达供给反复变动的驱动信号，

在将上述振动波马达自速度0启动至大于速度0的速度时，针对上述驱动信号，基于T/(B+C)值对频率扫描的频率变化率进行变更。

6.如权利要求5所述的振动波马达，

针对频率扫描的频率变化率，

在T/(B+C)为1.3～1.7的范围时，将频率的变化量设为0.7kHz/msec以下，

在T/(B+C)为1.7～2.8的范围时，将频率的变化量设为0.5kHz/msec以下。

7.一种振动波马达，具备：

元件，其通过电压的施加而位移；及

弹性体，其以底面与上述元件接触，并且通过因上述元件的位移而在具有沟槽的驱动面产生的振动波驱动移动构件；

其特征在于，

上述元件的密度为4.2～6.0×10³kg/m³，

在将上述沟槽的深度设为T，将上述沟槽的底部至上述底面为止的距离设为B，并且将上述元件的厚度设为C的情形时，

T/(B+C)的值为1.43～2.8的范围，

上述元件是以铌酸钾钠、铌酸钾、铌酸钠或钛酸钡为主成分的材料。

8.如权利要求7所述的振动波马达，

具备驱动电路，该驱动电路向上述振动波马达供给反复变动的驱动信号，

在将上述振动波马达自速度0启动至大于速度0的速度时，基于T/(B+C)值对上述驱动信号的频率的变化率进行变更。