[发明专利]用于集成电路板的定位装置和用于包括这种定位装置的集成电路板的检测装置有效
| 申请号: | 201780037424.7 | 申请日: | 2017-06-01 |
| 公开(公告)号: | CN109313231B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
| 发明(设计)人: | 西尔万·珀蒂格朗德 | 申请(专利权)人: | 统一半导体公司 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
| 地址: | 法国蒙特邦*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于定位集成电路晶片(W)的定位装置(100),包括:‑称为上基座的基座(102)和称为下基座的基座(106),所述基座在称为垂直方向的方向(Z)上彼此相距一定距离布置,以便在所述基座(102,106)之间产生自由空间;‑支撑件(110),其能够在上基座(102)和下基座(106)之间移动,并包括用于接收待检测的所述电路板(W)的接收位置(112);‑用于定位所述支撑件(110)的至少一个第一装置(118),其在垂直方向(Z)上抵靠所述上基座(102)或与所述上基座(102)配合;和‑用于定位所述支撑件(110)的至少一个第二装置(122),其在垂直方向(Z)上抵靠所述下基座(106)或与所述下基座(106)配合。本发明还涉及一种用于检测使用这种定位装置的集成电路板的装置。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 集成 电路板 定位 装置 包括 这种 检测 | ||
【主权项】:
1.一种用于定位集成电路晶片(W)的装置(100、500),包括:‑称为上基座的基座(102)和称为下基座的基座(106),所述基座(102、106)在称为垂直方向的方向(Z)上彼此相距一定距离布置,以便在所述基座(102、106)之间产生自由空间;‑支撑件(110、300),其设置成能够在所述上基座(102)和下基座(106)之间移动,并包括用于接收待检测的所述晶片(W)的位置(112);‑所述支撑件(110、300)的至少一个第一定位装置(118),其在所述垂直方向(Z)上抵靠所述上基座(102)或与所述上基座(102)配合;和‑所述支撑件(110、300)的至少一个第二定位装置(122),其在所述垂直方向(Z)上抵靠所述下基座(106)或与所述下基座(106)配合。
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