[发明专利]用于清洁塑料表面的方法在审
| 申请号： | 201780032085.3 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110099755A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | L·雷布施托克;M·弗里达;T·马特 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化（德国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/67;C02F1/461;B08B9/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国拉*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于清洁塑料表面、尤其用于除去所述塑料表面的金属污染和/或颗粒的方法，其中，所述方法的特征在于以下步骤：a)以去离子水冲洗所述塑料表面，b)以电解水冲洗所述塑料表面，和c)以去离子水冲洗所述塑料表面。 | ||
| 搜索关键词： | 塑料表面 冲洗 清洁塑料 去离子水 金属污染 电解水 | ||
【主权项】：
1.用于清洁塑料表面、尤其用于除去所述塑料表面的金属污染和/或颗粒的方法，其中，所述方法具有下列步骤：a)以去离子水冲洗所述塑料表面，b)以电解水冲洗所述塑料表面，并且c)以去离子水冲洗所述塑料表面。
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