[发明专利]用于清洁塑料表面的方法在审

专利信息
申请号: 201780032085.3 申请日: 2017-05-24
公开(公告)号: CN110099755A 公开(公告)日: 2019-08-06
发明(设计)人: L·雷布施托克;M·弗里达;T·马特 申请(专利权)人: 布鲁克斯自动化(德国)有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/67;C02F1/461;B08B9/08
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国拉*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 塑料表面 冲洗 清洁塑料 去离子水 金属污染 电解水
【权利要求书】:

1.用于清洁塑料表面、尤其用于除去所述塑料表面的金属污染和/或颗粒的方法,其中,所述方法具有下列步骤:

a)以去离子水冲洗所述塑料表面,

b)以电解水冲洗所述塑料表面,并且

c)以去离子水冲洗所述塑料表面。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,以电解水冲洗包含以阳极水冲洗,该阳极水具有小于7的pH值。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,以电解水冲洗包含以阴极水冲洗,该阴极水具有大于7的pH值。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,在以阴极水冲洗所述塑料表面之前,以阳极水冲洗所述塑料表面。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述电解水的pH值和/或氧化还原电势被调节为预确定的值。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,在电解池(1)中制造所述电解水,该电解池具有两个电极(4、8)并且将掺入电解质的水导入到该电解池中,其中,调节所述电解水的pH值和/或氧化还原电势,其方式是,使用所述电解质的浓度和/或在所述两个电极(4、8)之间流动的电流作为控制参数。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述塑料表面的冲洗在每个方法步骤中持续5秒和600秒之间、优选15秒和90秒之间。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,在不同的方法步骤中的冲洗持续不同的时间。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,所述去离子水和/或所述电解水的温度在10℃和70℃之间。

10.用于实施根据前述权利要求中任一项所述的方法的装置。

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