[发明专利]镜装置、镜的驱动方法、光照射装置和图像取得装置有效
| 申请号： | 201780024766.5 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN109073881B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 高桥聪 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 镜装置(1)包括：镜(16)，其在快轴(A1f)的周围可摇动地被支承，并且在慢轴(A2s)的周围可摇动地被支承，相对于快轴(A1f)的摇动的共振频率为第一值，相对于慢轴(A2s)的摇动的共振频率为比第一值低的第二值；信号提取部(54)，其从慢轴线圈(17s)得到包含由于使镜(16)在快轴(A1f)的周围摇动的动作引起而在慢轴线圈(17s)产生的感应信号(N4)的合成信号(N3)，并且从合成信号(N3)提取感应信号(N4)；信号生成部(50)，根据感应信号(N4)生成快轴驱动信号(N1)，使得镜(16)相对于快轴(A1f)的摇动成为共振状态。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 驱动 方法 照射 图像 取得 | ||
【主权项】：
1.一种镜装置，其特征在于，包括：镜，其在第一驱动轴的周围可摇动地被支承，并且在与所述第一驱动轴交叉的第二驱动轴的周围可摇动地被支承，相对于所述第一驱动轴的摇动的共振频率为第一值，相对于所述第二驱动轴的摇动的共振频率为比所述第一值低的第二值；使所述镜在所述第一驱动轴的周围摇动的第一驱动部；使所述镜在所述第二驱动轴的周围摇动的第二驱动部；信号提取部，从所述第二驱动部得到包括起因于使所述镜在所述第一驱动轴的周围摇动的动作而在所述第二驱动部产生的感应信号的合成信号，并且从所述合成信号提取所述感应信号；和信号生成部，其根据由所述信号提取部提取的所述感应信号，生成用于控制所述第一驱动部的驱动信号，使得所述镜相对于所述第一驱动轴的摇动成为共振状态。
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