[发明专利]镜装置、镜的驱动方法、光照射装置和图像取得装置

权利要求书

1.一种镜装置，其特征在于，

包括：

镜，其在第一驱动轴的周围可摇动地被支承，并且在与所述第一驱动轴交叉的第二驱动轴的周围可摇动地被支承，相对于所述第一驱动轴的摇动的共振频率为第一值，相对于所述第二驱动轴的摇动的共振频率为比所述第一值低的第二值；

使所述镜在所述第一驱动轴的周围摇动的第一驱动部；

基于第二控制信号，使所述镜在所述第二驱动轴的周围摇动的第二驱动部；

信号提取部，从所述第二驱动部得到包括起因于使所述镜在所述第一驱动轴的周围摇动的动作而在所述第二驱动部产生的感应信号、以及所述第二控制信号的合成信号，并且从所述合成信号提取所述感应信号；和

信号生成部，其根据由所述信号提取部提取的所述感应信号，生成用于控制所述第一驱动部的驱动信号，使得所述镜相对于所述第一驱动轴的摇动成为共振状态。

2.如权利要求1所述的镜装置，其特征在于，

所述信号生成部根据从所述信号生成部输入所述第一驱动部的所述驱动信号的相位与在所述信号提取部得到的所述感应信号的相位的相位差，生成所述驱动信号。

3.如权利要求2所述的镜装置，其特征在于，

所述信号生成部以所述相位差成为一定值的方式生成所述驱动信号。

4.如权利要求3所述的镜装置，其特征在于，

所述一定值为零。

5.如权利要求1～4中任一项所述的镜装置，其特征在于，

所述信号生成部根据在所述信号提取部得到的所述感应信号的振幅，生成所述驱动信号。

6.如权利要求5所述的镜装置，其特征在于，

所述信号生成部以所述感应信号的振幅变大的方式生成所述驱动信号。

7.如权利要求1所述的镜装置，其特征在于，

所述信号提取部包括信号放大部，

所述信号放大部放大包含比所述第二值大的频率的信号。

8.如权利要求1所述的镜装置，其特征在于，

所述信号提取部包括信号滤波部，

所述信号滤波部使包含比所述第二值大的频率的信号通过。

9.如权利要求7所述的镜装置，其特征在于，

所述信号提取部包括信号滤波部，

所述信号滤波部使包含比所述第二值大的频率的信号通过。

10.如权利要求8所述的镜装置，其特征在于，

所述信号滤波部使包含比所述第二值小的频率的信号衰减。

11.一种光照射装置，其特征在于，

是向对象物照射光的光照射装置，

包括：

输出所述光的光源；和

对从所述光源输出的所述光进行扫描的权利要求1～10中任一项所述的镜装置。

12.一种图像取得装置，其特征在于，

是取得对象物的图像的图像取得装置，

包括：

权利要求11所述的光照射装置；和

对伴随着所述光照射装置所进行的所述光的照射而在所述对象物产生的光进行检测的光检测器。

13.一种镜的驱动方法，其特征在于，

所述镜在第一驱动轴的周围可摇动地被支承，并且在与所述第一驱动轴交叉的第二驱动轴的周围可摇动地被支承，相对于所述第一驱动轴的摇动的共振频率为第一值，相对于所述第二驱动轴的摇动的共振频率为比第一值小的第二值，

所述驱动方法包括：

控制第一驱动部，使所述镜在所述第一驱动轴的周围摇动的摇动，并且基于第二控制信号，使所述镜在所述第二驱动轴的周围摇动的步骤；

从第二驱动部得到包括起因于使所述镜在所述第一驱动轴的周围摇动的动作而在使所述镜在所述第二驱动轴的周围摇动的所述第二驱动部产生的感应信号、以及所述第二控制信号的合成信号的取得步骤；

从所述合成信号提取所述感应信号的提取步骤；和

根据所述感应信号，生成用于控制所述第一驱动部的驱动信号，使得所述镜相对于所述第一驱动轴的摇动成为共振状态的生成步骤。