[发明专利]镜装置、镜的驱动方法、光照射装置和图像取得装置

说明书

镜装置(1)包括：镜(16)，其在快轴(A1f)的周围可摇动地被支承，并且在慢轴(A2s)的周围可摇动地被支承，相对于快轴(A1f)的摇动的共振频率为第一值，相对于慢轴(A2s)的摇动的共振频率为比第一值低的第二值；信号提取部(54)，其从慢轴线圈(17s)得到包含由于使镜(16)在快轴(A1f)的周围摇动的动作引起而在慢轴线圈(17s)产生的感应信号(N4)的合成信号(N3)，并且从合成信号(N3)提取感应信号(N4)；信号生成部(50)，根据感应信号(N4)生成快轴驱动信号(N1)，使得镜(16)相对于快轴(A1f)的摇动成为共振状态。

技术领域

本发明涉及镜装置、镜的驱动方法、光照射装置和图像取得装置。

背景技术

在专利文献1中公开了电磁驱动型的扫描镜。扫描镜在规定轴的周围以作为共振状态进行摇动的方式被控制。用于驱动扫描镜的控制信号利用由于扫描镜的驱动而产生的反电动势而生成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-258321号公报

发明内容

发明所要解决的技术课题

在专利文献1的装置中，反电动势以加到驱动信号的方式被检测出，因此需要从检测出的信号提取与反电动势对应的信号成分。但是，驱动信号的频率和反电动势的频率相同，而且反电动势的振幅相对于驱动信号的振幅较小。由此，难以从检测出的信号提取反电动势的成分。扫描镜的驱动信号利用反电动势而生成，因此在难以提取反电动势的成分时，也难以将扫描镜可靠地作为共振状态进行驱动。

于是，实施方式的目的在于提供能够将镜作为共振状态进行驱动的镜装置、镜的驱动方法、光照射装置和图像取得装置。

解决问题的技术手段

实施方式是镜装置。镜装置包括：镜，其在第一驱动轴的周围可摇动地被支承，并且在与第一驱动轴交叉的第二驱动轴的周围可摇动地被支承，相对于第一驱动轴的摇动的共振频率为第一值，相对于第二驱动轴的摇动的共振频率为比第一值低的第二值；使镜在第一驱动轴的周围摇动的第一驱动部；使镜在第二驱动轴的周围摇动的第二驱动部；信号提取部，从第二驱动部得到包括起因于使镜在第一驱动轴的周围摇动的动作而在第二驱动部产生的感应信号的合成信号，并且从合成信号提取感应信号；和信号生成部，其根据提取的感应信号，生成用于控制第一驱动部的驱动信号，使得镜相对于第一驱动轴的摇动成为共振状态。

另一实施方式是镜的驱动方法。镜的驱动方法是在第一驱动轴的周围可摇动地被支承并且在与第一驱动轴交叉的第二驱动轴的周围可摇动地被支承、相对于第一驱动轴的摇动的共振频率为第一值、且相对于第二驱动轴的摇动的共振频率为比第一值小的第二值的镜的驱动方法，该镜的驱动方法包括：控制第一驱动部，使镜在第一驱动轴的周围摇动的步骤(摇动步骤)；从第二驱动部得到包括起因于使镜在第一驱动轴的周围摇动的动作而在第二驱动部产生的感应信号的合成信号的步骤(取得步骤)；从合成信号提取感应信号的步骤(提取步骤)；和根据提取的感应信号，生成用于控制第一驱动部的驱动信号，使得镜相对于第一驱动轴的摇动成为共振状态的步骤(生成步骤)。

镜利用第一驱动部而在第一驱动轴的周围摇动。在该镜在第一驱动轴的周围摇动的期间中，信号提取部从第二驱动部得到合成信号。该合成信号包括由于使镜在第一驱动轴的周围摇动的动作引起而在第二驱动部产生的感应信号。感应信号起因于第一驱动部的动作，因此其频率与镜相对于第一驱动轴的摇动的频率对应。镜相对于第一驱动轴的摇动的频率比镜相对于第二驱动轴的频率高，因此能够从由第二驱动部得到的信号容易地提取感应信号。然后，信号生成部根据感应信号生成向第一驱动部提供的驱动信号。因此，能够将利用第一驱动部使镜摇动的结果从第二驱动部作为感应信号而得到。由此，构成关于镜相对于第一驱动轴的摇动的反馈环系统，因此能够相对于第一驱动轴将镜可靠地作为共振状态进行驱动。